酒井洋輔, 北海道大学 [著][酒井洋輔]2005-2007<Y151-H17360121>
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- 件名絶縁膜 / プラズマCVD / パーフルオロカーボン / 低誘電率 / 絶縁耐力 / a-C : F膜
吉川公麿, 広島大学 [著][吉川公麿]2003-2005<Y151-H15206041>
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- 件名低誘電率層間絶縁膜 / 配線 / ワイヤレス / インターコネクト ...
原, 徹, 法政大学2000-2002<Y151-H12650323>
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- 件名超LSI高速化 多層配線層 低誘電率層間膜 耐熱性向上 定着力向上 界面反応
小川宏隆, 名城大学 [著][小川宏隆]2003-2005<Y151-H15360353>
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- 件名マイクロ波誘電体 / ナノ結晶構造解析 / コランダム系材料 / 低誘電率材料 / LTCC / 高Q / セラミック
川上雄資, 北陸先端科学技術大学院大学 [著][川上雄資]2004-2007<Y151-H16205016>
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- 件名シロキサン / シルセスキオキサン / 特異構造 / X線構造解析 / 半導体封止材料 / 耐熱材料 / 低誘電率材料 / ホログラフィ材料
吉川, 公麿, 広島大学1999-2001<Y151-H11450126>
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- 件名低誘電率膜 有機膜 多層配線 集積回路 銅配線 ポ-ラス 金属電極 ...
松本利彦, 東京工芸大学 [著][松本利彦]2000-2002<Y151-H12650890>
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- 件名ポリイミド / 非芳香族 / 多脂環構造 / 脂肪族 / 脂環式 / 無色透明 / 屈折率 / 低誘電率
仁田, 昌二, 岐阜大学2001-2002<Y151-H13650008>
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- 件名窒化炭素 光伝導体 低誘電率媒体 重粒子の検出 光感度 レイヤ-・バイ・レイヤ-法 薄膜...
内田, 和男, 電気通信大学1999-2000<Y151-H11650317>
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- 件名低誘電率材料 層間絶縁膜 酸化シリコンナノポーラス薄膜 ガス中蒸発法...
森崎, 弘, 電気通信大学1996-1998<Y151-H08455138>
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- 件名ナノ構造新物質 クラスター 低誘電率材料 多層膜反射鏡 Siドープガラス 可視領域発光
柿本, 雅明, 東京工業大学1999-2001<Y151-H11450353>
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- 件名デンドリテイツク高分子 芳香族ポリアミド 芳香族ポリイミド 直接重縮合法 ポリウレタン ポリアクリル酸 カプトン 低誘電率
平山, 昌樹, 東北大学1998-1999<Y151-H10450111>
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- 件名低誘電率層間絶縁膜 高誘電率膜 マイクロ波 プラズマ 半導体 プロセ...
中村, 茂夫, 神奈川大学1995-1997<Y151-H07555585>
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- 件名エポキシ樹脂 硬化反応 低吸水率 低誘電率 トリメチルシリル基 力学的性質 活性エステル 内部活性エス...
堀池靖浩, 東洋大学1995-1995<Y151-H05555089>
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- 件名デジタルCVD ULSI 高機能性薄膜 積層層間絶縁膜 コンフオーマルCVD 低誘電率膜 時間変調プラズマ バイアススパツタ
深津, 晋, 東京大学1998-1999<Y151-H10555002>
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- 件名半導体ヘテロ構造 ワイドギヤツプ・低誘電率 非晶質シリコン酸化物障壁 エピSi/SiO2量子構造 電子...