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高機能酸化物
薄膜形成
方法の研究
高機能酸化物薄膜形成方法の研究
紙
図書
松尾, 二郎, 京都大学
2000-2001
<Y151-H12650697>
国立国会図書館
件名
酸化膜 酸素クラスター 多体衝突効果 高密度照射効果
薄膜形成
酸化物薄膜
高効率マイクロ波放電プラズマによる機能性
薄膜形成
高効率マイクロ波放電プラズマによる機能性薄膜形成
紙
図書
藤田, 順治, 大同工業大学
2000-2001
<Y151-H12558047>
国立国会図書館
件名
プラズマ応用
薄膜形成
機能性薄膜 プラズマ分光 プラズマ化学反応 マイクロ波放電
ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究
ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究
紙
図書
中山, 登史男, 山口東京理科大学
1997-1998
<Y151-H09650798>
国立国会図書館
件名
マイクロスパツタリング エツチング
薄膜形成
ミリ加工 ミクロン加工
高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究
高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究
紙
図書
中島, 寛, 九州大学
1997-1998
<Y151-H09650363>
国立国会図書館
件名
シリコン 極薄絶縁膜 ECRプラズマ 低温
薄膜形成
電気的機能性 スパツタリング
機能性薄膜の形成技術の開発と応用
機能性薄膜の形成技術の開発と応用
紙
図書
安田, 幸夫, 名古屋大学
1988-1989
<Y151-S63302021>
国立国会図書館
件名
機能性薄膜
薄膜形成
技術
知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究
知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究
紙
図書
大見, 忠弘, 東北大学
1998-1999
<Y151-H10044114>
国立国会図書館
件名
マイクロ波プラズマ 平行平板プラズマ コンタミネーシヨンフリー 半導体 プロセス 高品質
薄膜形成
超高密度イオンビーム照射による表面改質の研究
超高密度イオンビーム照射による表面改質の研究
紙
図書
松尾, 二郎, 京都大学
1996-1997
<Y151-H08650843>
国立国会図書館
件名
クラスターイオン 酸化反応 エツチング スパツタリング SiC
薄膜形成
InOx 導電性透明薄膜
放射光励起ガスソースCVDによる高誘電体薄膜の低温形成
放射光励起ガスソースCVDによる高誘電体薄膜の低温形成
紙
図書
庭野, 道夫, 東北大学
1991-1993
<Y151-H03452149>
国立国会図書館
件名
放射光 高誘電体薄膜 低温
薄膜形成
半導体表面 光励起反応 CVD
高速度測定の可能な低速電子回折システムの開発
高速度測定の可能な低速電子回折システムの開発
紙
図書
河津, 璋, 東京大学
1988-1989
<Y151-S63850004>
国立国会図書館
件名
低速電子回折 表面構造 画像処理 表面の動的過程
薄膜形成
In,P化合物を用いるMOCVD,ALEにおける表面反応基礎過程の研究
In,P化合物を用いるMOCVD,ALEにおける表面反応基礎過程の研究
紙
図書
福田, 安生, 静岡大学
1995-1996
<Y151-H07640770>
国立国会図書館
件名
表面反応 化合物半導体薄膜
薄膜形成
機構 昇温脱離 走査トンネル顕微鏡 電子分光 アルキルフオス...
スピンコーテイングにおける薄液膜形成過程
スピンコーテイングにおける薄液膜形成過程
紙
図書
松本, 洋一郎, 東京大学
1989-1990
<Y151-H01460110>
国立国会図書館
件名
液膜流れ 回転円盤 回転塗布法
薄膜形成
熱物質移動 相変化 厚さ計測 数値解析
次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
紙
図書
山田, 公, 京都大学
1992-1994
<Y151-H04555003>
国立国会図書館
件名
ガスクラスター 高密度照射効果 低エネルギーイオンビーム ラテラルスパツタ イオン注入 表面クリーニング
薄膜形成
LSI
機能性薄膜の界面接合プロセスおよびその評価
機能性薄膜の界面接合プロセスおよびその評価
紙
図書
仲田, 周次, 大阪大学
1989-1991
<Y151-H01420042>
国立国会図書館
件名
界面接合プロセス
薄膜形成
ダイヤモンド薄膜 電子照射形CVD法 STM STS マイ...
熱CVD装置のシミユレーシヨン
熱CVD装置のシミユレーシヨン
紙
図書
加藤, 邦夫, 群馬大学
1989-1990
<Y151-H01303009>
国立国会図書館
件名
CVD 多結晶シリコン エピタキシヤル成長 ウエハー
薄膜形成
超微粒子 自然対流 シリコン化合物
セラミックススラリーのレオロジー制御とコーティングによる積層薄膜の形成
セラミックススラリーのレオロジー制御とコーティングによる積層薄膜の形成
デジタル
文書・図像類
大坪, 泰文
2003-05
全国の図書館
件名
セラミックススラリー レオロジー制御
薄膜形成
凝集構造 コーティング 会合性高分子 可逆架橋
高機能酸化物
薄膜形成
方法の研究
高機能酸化物薄膜形成方法の研究
デジタル
文書・図像類
松尾, 二郎
京都大学
2002-03
インターネットで読める
全国の図書館
件名
...膜 酸化物薄膜 多体衝突効果
薄膜形成
酸素クラスター 高密度照射効果 酸化膜 oxidation...
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