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- 目次・記事...シフトプロセス 第2章 フォトレジスト材料の技術革新の歴史 2 技術の変......1 まとめ 【第II編 フォトレジスト材料の開発】 第1章 新規レジスト材料の開発 2 極端紫外線露光装置を用いた次世代レジスト材料 3 分子レジスト材料 4 分子レジスト材料の例 4.1 カリックスアレーンを基盤とした分子レジスト材料 4.2 フェノール樹脂タイプ......ノパーティクルを用いた高感度化レジスト材料の開発 4.6 主鎖分解型ハイ......殖反応を利用した超高感度フォトレジスト材料 2 酸増殖レジスト 2.1 ......の現状と今後の展望 2 フォトレジスト材料の変遷 3 EUVレジスト材料 3.1 化学増幅型ポジレジス......1 EUVリソグラフィとEUVレジスト材料 1.1 EUVリソグラフィの背景 1.2 EUVレジスト材料と技術課題 2 EUVレジストの評価技術 2.1 量産向けE...
- 要約等フォトレジスト材料および露光技術の特長を最大限に発揮させるためのレジストプロセ...
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- 目次・記事第1章 レジスト材料 1 高分子集合体 1.1 はじめに 1.2 表面エネルギー...
- 要約等★半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないフォトレジスト材料に関する基盤技術やノウハウを集約した書籍です。
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- 目次・記事...れる性能と特性評価法 第2章 レジスト材料とリソグラフィ技術の発展の歴史 2.1 架橋ネガ型レジスト ...
- 要約等レジスト材料の歴史・現在・未来を平易に解説
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- 一般注記「新しいレジスト材料とナノテクノロジー」 (2002年刊) の普及版
- その他のタイトル新しいレジスト材料とナノテクノロジー