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リアルタイム分子膜厚分布計測装置の開発

Paper図書

圓山, 重直, 東北大学1998-1999<Y151-H10555064>

National Diet Library

Subject Heading干渉計位相シフト分子膜厚相変化エリプソメータ

レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

Paper図書

山本正樹, 東北大学 [著][山本正樹]2003-2007<Y151-H15002001>

National Diet Library

Subject Heading軟X線 / 多層膜 / 顕微鏡 / レーザープラズマ / 周期膜厚分布制御 / スパッタリング / エリプソメーター / 成膜レートモニター

CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作

Paper図書

杉本, 克久, 東北大学1998-2000<Y151-H10555238>

National Diet Library

Subject Headingイメージング分光エリプソメータ CCDセンサ膜厚光学定数空間分布

CCDマルチチヤンネルアナライザを用いる瞬間分光型マイクロエリプソメータの試作

Paper図書

杉本, 克久, 東北大学1995-1996<Y151-H07555510>

National Diet Library

Subject Headingエリプソメトリーマイクロエリプソメータ分光エリプソメータ CCDマルチチヤンネル検出器不働態皮膜膜厚光学定数

RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究

Paper図書

宮崎卓幸, 群馬大学 [著][宮崎卓幸]2002-2003<Y151-H14550288>

National Diet Library

Subject Heading反応性スパッタリング / 窒化物半導体 / InN / GaN / 光学的性質 / 誘電率 / バンドギャップ / 分光エリプソメータ

X線エリプソメーターの開発とその応用研究

Paper図書

雨宮慶幸, 東京大学 [著][雨宮慶幸]2000-2001<Y151-H12355005>

National Diet Library

Subject Heading偏光 / 偏光顕微鏡 / シンクロトロン放射 / X線エリプソメーター / X線移相子 / X線光学素子

固体・液体状態の金属及び合金の分光放射率とその推算モデル

Paper図書

須佐匡裕, 東京工業大学 [著][須佐匡裕]2002-2004<Y151-H14350396>

National Diet Library

Subject Heading融解合金 / 垂直分光放射率 / コールドクルーシブル / エリプソメータ / Hagen-Rubensの関係 / バンド間遷移 / ...

赤外光を用いた高速エリプソメ-タの開発と応用

Paper図書

宮崎, 孝雄, 鶴岡工業高等専門学校1998-2000<Y151-H10650420>

National Diet Library

Subject HeadingCO2レ-ザ赤外偏光解析エリプソメトリエリプソメ-タ薄膜サ-モパイル高速赤外光センサ赤外光偏光解析

完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発

Paper図書

山本, 正樹, 東北大学1997-1998<Y151-H09650041>

National Diet Library

Subject Heading分光エリプソメーター偏光解析法完全円偏光校正法エキシマレーザー KrF...

反応性スパッタ法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究

Paper図書

宮崎卓幸, 群馬大学1999-2000<Y151-H11650312>

National Diet Library

Subject Heading窒化物半導体反応性スパツタリング非晶質半導体分光エリプソメータ誘電率光学的性質バンドギヤツプ偏光分光解析

高分解能マイクロエリプソメータによる化合物薄膜の局所解析

Paper図書

杉本, 克久, 東北大学1990-1991<Y151-H02650505>

National Diet Library

Subject Headingエリプソメトリーマイクロエリプソメータ膜厚複素屈折率プラズマCVD

リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析

Paper図書

杉本, 克久, 東北大学1995-1996<Y151-H07455284>

National Diet Library

Subject Heading反応性イオンエツチングリアルタイム分光エリプソメトリーマルチチヤンネル分光エリプソメータイオンビームスパツタリング膜厚光学定数

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