Search results for "エレクトロマイグレーション" | NDL Search

Search results 14

Group by title

20nm技術LSI用Cu配線材料の研究

Paper図書

大貫仁, 茨城大学 [著][大貫仁]2005-2007<Y151-H17206071>

National Diet Library

Subject HeadingTEG / Cu配線形成 / 硫酸銅純度 / 平均結晶粒径 / 標準偏差 / 分子動力学法 / ナノスクラッチ試験 / エレクトロマイグレーション

ULSI極微細配線におけるGHzエレクトロマイグレ-シヨン耐性限界評価法の確立

Paper図書

益, 一哉, 東京工業大学2001-2002<Y151-H13555090>

National Diet Library

Subject Heading集積回路シリコン微細配線エレクトロマイグレ-シヨン高速信号処理伝送線路配線

配線損傷の高精度予測に立脚した電子デバイス長寿命化のための回路設計指針の新規策定

Paper図書

笹川和彦, 弘前大学 [著][笹川和彦]2005-2007<Y151-H17360045>

National Diet Library

Subject Headingエレクトロマイグレーション / 半導体集積回路 / 長寿命化 / 微細化 / 高密度実...

金属ナノワイヤーの量子化コンダクタンス状態の電流誘起脆性と合金化による高靭化

Paper図書

酒井明, 京都大学 [著][酒井明]2002-2003<Y151-H14340091>

National Diet Library

Subject Heading金属ナノ接点 / 量子化コンダクタンス / 電流誘起脆性 / エレクトロマイグレーション / 単原子接点 / 金合金接点

超LSI信頼性確保を目的とした微細金属薄膜配線の高密度電子流による断線故障予測法

Paper図書

笹川和彦, 弘前大学 [著][笹川和彦]2003-2004<Y151-H15560058>

National Diet Library

Subject Heading電子パッケージ / エレクトロマイグレーション / 金属薄膜配線 / 断線故障 / バンブー配線 / 保護...

電子パツケージ薄膜配線の高密度電流による断線寿命および断線箇所の新規予測手法構築

Paper図書

笹川, 和彦, 弘前大学1999-2000<Y151-H11555024>

National Diet Library

Subject Heading電子パツケージ金属薄膜配線エレクトロマイグレーシヨン断線予測数値シミユレーシヨン支配パラメータ多結晶配線...

シリコン表面における試料通電効果の反射電子顕微鏡法による研究

Paper図書

八木, 克道, 東京工業大学1991-1992<Y151-H03452077>

National Diet Library

Subject Headingエレクトロマイグレーシヨン表面電流効果シリコン表面 Si (111) 相転移

電流と応力による原子マイグレーシヨン競合下のLSI微細配線の破壊機構の解明

Paper図書

北村, 隆行, 京都大学1997-1997<Y151-H09450049>

National Diet Library

Subject Headingエレクトロマイグレーシヨンストレスマイグレーシヨン LSI配線破壊機構拡散数値...

走査型TRAXS(全反射角X線分光法)の開発と,それによる表面動的過程の研究

Paper図書

長谷川, 修司, 東京大学1998-1999<Y151-H10555007>

National Diet Library

Subject Heading全反射角X線分光法走査電子顕微鏡表面組成分析反射高速電子回折エネルギー分散型X線検出器走査型反射電子顕微鏡エレクトロマイグレーシヨンサーフアクタント・エピタキシー

極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

Paper図書

新宮原, 正三, 広島大学1991-1993<Y151-H03555061>

National Diet Library

Subject Headingエレクトロマイグレーシヨン電子顕微鏡その場観察ボイド高磁場ECRスパツタ自己維...

高品質薄膜形成用トロイダルプラズマ式スパツタ装置の開発

Paper図書

高橋, 隆一, 富山大学1991-1992<Y151-H03555058>

National Diet Library

Subject Headingトロイダルプラズマプラズマフリースパツタ装置薄膜半導体用電極材料緻密・均一性エレクトロマイグレーシヨンストレスマイグレーシヨン

半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究

Paper図書

大見, 忠弘, 東北大学1990-1991<Y151-H02402031>

National Diet Library

Subject Headingメタルゲート自己整合MOSFET イオン注入層低温アニール Cu配線技術超高速配線エレクトロマイグレーシヨン低エネルギイオン照射プロセス NON ALLOYING C...

固体表面の格子欠陥の観察とその表面物性との関連の解析

Paper図書

大島, 忠平, 早稲田大学1989-1991<Y151-H01420017>

National Diet Library

Subject Heading高分解能エネルギー損失分光走査型LEED顕微鏡走査型トンネル顕微鏡軍原子層グラフアイト Si表面の再配列構造 Si 金属界面の超周期構造 Si上の金属島のエレクトロマイグレーシヨン

シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究

Digital博士論文

柴田, 英毅

Available onlineOther Libraries in Japan

Subject Heading多結晶シリコン高抵抗素子 SRAM ULSI エレクトロマイグレーション Al配線間道微細接援孔

Reached to the end of result.

RSS