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PLD法による環境保護用高選択性・高感度薄膜大気ガスセンサの開発

Paper図書

須田義昭, 佐世保工業高等専門学校 [著][須田義昭]2001-2003<Y151-H13555098>

National Diet Library

Subject Heading薄膜ガスセンサ / PLD法 / SnO_2 / WO_3 / Nd : YAGレーザ / スパッタリング法 / XPS / Pd

水素化アモルフアス炭素薄膜の形成過程と物性

Paper図書

渡久地, 實, 琉球大学1998-1999<Y151-H10650314>

National Diet Library

Subject HeadingVHFプラズマスパツタリング法 a-C: H薄膜水素分圧

機能性薄膜被覆材料の創成・構造・変形の分子動力学法による統合的解析と健全性評価

Paper図書

星出, 敏彦, 京都大学2001-2002<Y151-H13650087>

National Diet Library

Subject Heading被覆材料機能性薄膜健全性評価分子動力学法薄膜構造スパツタリング法強度評価変形解析

超平坦基板上への酸化物高温超伝導体薄膜の作製とその成長メカニズムの解明

Paper図書

鈴木, 敏正, 日本工業大学1998-1999<Y151-H10650016>

National Diet Library

Subject Heading酸化物高温超伝導体超平坦基板成長メカニズムスパツタリング法原子間力顕微鏡

強誘電体薄膜メモリー実現のための新しい強誘電体材料および物性評価法の提案

Paper図書

鶴見, 敬章, 東京工業大学2000-2001<Y151-H12450266>

National Diet Library

Subject Heading強誘電体薄膜メモリーヒステリシス曲線スパツタリング法ドメイン構造チタン酸鉛ペロブスカイ化合物

Er添加ガーネツト結晶薄膜を用いた広帯域高効率集積型増幅器および回路の研究

Paper図書

宮崎, 保光, 豊橋技術科学大学1999-2001<Y151-H11555101>

National Diet Library

Subject Heading導波路型光増幅器 RFスパツタリング法ガーネツト Erイオン蛍光分光特性パルス応答特性液晶...

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス第2版

Paper図書

小島啓安著日刊工業新聞社2015.2<ND371-L60>

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Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム半導体薄膜スパッタリング技術 Thin films スパッタスパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)

先進薄膜セラミツクス被覆材の創成と構造・機械的特性の分子動力学解析手法の構築

Paper図書

星出, 敏彦, 京都大学1997-1998<Y151-H09650101>

National Diet Library

Subject Headingセラミツクス被覆材スパツタリング法曲げ強度表面粗さ分子動力学法ホウケイ酸ガラスアルミ...

スパッタ実務「Q&A集」

Paper図書

藤本登企画編集技術情報協会2009.1<ND371-J60>

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Authority（Subject Heading/altLabel）スパッタスパッタリング技術スパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)

薄膜セラミツクス被覆材の創成と強度の分子動力学的解析に関する基礎研究

Paper図書

星出, 敏彦, 京都大学1994-1995<Y151-H06650107>

National Diet Library

Subject Headingセラミツクス薄膜セラミツクス被覆材分子動力学法スパツタリング法超微小硬度曲げ強度表面粗さ成膜条件

超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究

Paper図書

小寺澤, 啓司, 姫路工業大学1990-1991<Y151-H02650059>

National Diet Library

Subject Heading窒化物薄膜高周波反応性スパツタリング法酸化挙動窒化チタン窒化アルミニウム

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

Paper図書

小島啓安著日刊工業新聞社2008.8<ND371-J33>

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Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム半導体薄膜スパッタリング技術 Thin films スパッタスパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)

対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発

Paper図書

富永, 喜久雄, 徳島大学1989-1990<Y151-H01550249>

National Diet Library

Subject Heading対向ターゲツト式スパツタリング法プレーナマグネトロンスパツタリング酸化亜鉛薄膜窒化アル...

磁界制御水素プラズマスパッタリング法による電子材料作製に関する研究

Paper図書

宮里達郎, 九州工業大学1988-1990<Y151-S63550238>

National Diet Library

Subject Heading水素プラズマスパツタリング法超微粒子シリコン結晶多結晶シリコン膜化合物半導体膜低...

表面改質処理による複合機能化合金層の物性研究

Paper図書

松田, 福久, 大阪大学1986-1989<Y151-S61420041>

National Diet Library

Subject Heading表面改質複合機能化合金層物性レーザ合金化法プラズマCVD法プラズマイオン窒化法マークスパツタリング法

オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術

Paper図書

技術情報協会2006.10<ND416-H155>

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Authority（Subject Heading/altLabel）...パッタリング技術光電子工学スパッタリング法オプトロニクス Optoelectronics フィルム ...

スパッタリング法による高品位Pb1-xLaxTi1-x/4O3薄膜の作製とその焦電特性の研究

Digital博士論文

長尾, 宣明奈良先端科学技術大学院大学2009-03-24

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Subject Heading強誘電体焦電体薄膜赤外線センサースパッタリング法

自己整合的カーボンナノチューブ成長とフィールドエミッタアレイ作製への応用

Digital文書・図像類

佐藤, 英樹, 齋藤, 弥八三重大学2012-05-15

Other Libraries in Japan

Subject Headingカーボンナノチューブスパッタリング法フィールドエミッタ化学気相成長法

スパッタ薄膜 : 基礎と応用

PaperDigital図書

小林春洋著日刊工業新聞社1993.2<ND354-E48>

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Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム半導体薄膜スパッタリング技術 Thin films スパッタスパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)

スパッタ技術

PaperDigital図書

和佐清孝, 早川茂著共立出版1988.6<ND371-E20>

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Authority（Subject Heading/altLabel）スパッタスパッタリング技術スパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)