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超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用

超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用
Paper図書
森田昇, 富山大学 [著][森田昇]2004-2005<Y151-H16360064>
National Diet Library
  • Subject Heading摩擦力顕微鏡 / 3次元微細加工 / 加工用カンチレバー / CVD / フォトリソグラフィー

MEMS用レジスト微小構造部材のための機械的性質評価法の開発

MEMS用レジスト微小構造部材のための機械的性質評価法の開発
Paper図書
石山千恵美, 東京工業大学 [著][石山千恵美]2005-2006<Y151-H17560611>
National Diet Library
  • Subject Headingフォトリソグラフィー / 厚膜レジスト / ミクロンサイズ材料試験機 / エポ...

鉛フリーはんだを用いた異方性導電フィルムの開発と半導体チップ表面実装への応用

鉛フリーはんだを用いた異方性導電フィルムの開発と半導体チップ表面実装への応用
Paper図書
江崎尚和, 鈴鹿工業高等専門学校 [著][江崎尚和]2002-2004<Y151-H14350393>
National Diet Library
  • Subject Heading異法性導電材 / フォトリソグラフィー / 鉛フリーはんだ / マイクロ接合 / めっき / 感...

ER流体のマイクロ流動とそのマイクロシステムへの応用

ER流体のマイクロ流動とそのマイクロシステムへの応用
Paper図書
中野, 政身, 山形大学1999-2001<Y151-H11450097>
National Diet Library
  • Subject Heading分散系ER流体 各種流れモード マイクロ流動特性 3ポートERバルブ PWM制御 ERマイクロポンプ 駆動法 フオトリソグラフイ

EUVリソグラフィ技術 : レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状

EUVリソグラフィ技術 : レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状
Paper図書
渡邊健夫 監修AndTech2023.5<ND386-M92>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術 普及版 (TECHNICAL LIBRARY. エレクトロニクスシリーズ)

最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術 普及版 (TECHNICAL LIBRARY. エレクトロニクスシリーズ)
Paper図書
河合晃 監修シーエムシー出版2024.8<PA441-R12>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Toc / Article...めと今後の展望 第3章　3次元フォトリソグラフィ 1　背景 2　スプレー成膜 3　スプレー成膜に関係する気流...
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

ニオブ系トンネル接合を用いた高分解能放射線検出器に関する研究

ニオブ系トンネル接合を用いた高分解能放射線検出器に関する研究
Paper図書
石橋, 健二, 九州大学1990-1992<Y151-H02680187>
National Diet Library
  • Subject Heading超伝導トンネル接合 放射線 X線 ニオブ アルミニウム フオトリソグラフイー

フォトレジストの最先端技術 (エレクトロニクスシリーズ)

フォトレジストの最先端技術 (エレクトロニクスシリーズ)
Paper図書
遠藤政孝 監修シーエムシー出版2022.9<PA441-M131>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

レジスト材料の基礎とプロセス最適化

レジスト材料の基礎とプロセス最適化
Paper図書
河合晃 著シーエムシー・リサーチ2021.11<YU7-R25>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

ノボラックレジスト : 材料とプロセスの最適化

ノボラックレジスト : 材料とプロセスの最適化
Paper図書
S&T出版2020.1<PA441-M40>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術
Paper図書
岡崎信次 監修エヌ・ティー・エス2017.4<ND386-L119>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

リソグラフィ技術その40年

リソグラフィ技術その40年
Paper図書
S&T出版2016.12<ND386-L115>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
Paper図書
河合晃 著R&D支援センター2018.3<PA441-L160>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術 (エレクトロニクスシリーズ)

最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術 (エレクトロニクスシリーズ)
Paper図書
河合晃 監修シーエムシー出版2017.9<PA441-L152>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

EUV光源の開発と応用 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)

EUV光源の開発と応用 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
Paper図書
豊田浩一, 岡崎信次 監修シーエムシー出版2013.3<ND386-L12>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

フォトレジスト材料開発の新展開 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)

フォトレジスト材料開発の新展開 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
Paper図書
上田充 監修シーエムシー出版2015.11<PA441-L99>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

液浸リソグラフィのプロセスと材料 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)

液浸リソグラフィのプロセスと材料 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
Paper図書
東木達彦 監修シーエムシー出版2012.8<ND386-J178>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

はじめての半導体リソグラフィ技術 : 現場の即戦力

はじめての半導体リソグラフィ技術 : 現場の即戦力
Paper図書
岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧 著技術評論社2012.1<ND386-J152>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

レジスト&リソグラフィ関連市場の全貌 2011 (光機能材料・製品市場の全貌シリーズ ; no. 2)

レジスト&リソグラフィ関連市場の全貌 2011 (光機能材料・製品市場の全貌シリーズ ; no. 2)
Paper図書
東京マーケティング本部ケミカル&マテリアルグループ 調査・編集富士経済2011.3<DL475-J442>
National Diet Library
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...

レジストプロセスの最適化テクニック : 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術

レジストプロセスの最適化テクニック : 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術
Paper図書
情報機構2011.9<ND386-J148>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithog...
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