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STMとプラズマエツチングを用いたナノ押し印リソグラフイー技術の開発

Paper図書

吉田, 善一, 山梨大学1998-1999<Y151-H10650111>

National Diet Library

Subject HeadingSTM AFM 超微細加工プラズマエツチング

スリ-ブ付ダイヤフラム型極細光フアイバ圧力センサの開発

Paper図書

高橋, 幸郎, 埼玉大学2001-2002<Y151-H13650369>

National Diet Library

Subject Heading圧力センサプラズマエツチング光フアイバ CMP ダイヤフラム

低温プラズマを用いた歯科用金属の表面処理と接着構造変化の解明

Paper図書

藤島昭宏, 昭和大学 [著][藤島昭宏]2002-2003<Y151-H14571861>

National Diet Library

Subject Heading低温プラズマ / 歯科用金属 / 表面処理 / 接着 / プラズマエッチング

低温プラズマによる高分子薄膜表面のナノサイズ高精度加工法の確立

Paper図書

山根大和, 北九州工業高等専門学校 [著][山根大和]2003-2004<Y151-H15560635>

National Diet Library

Subject Heading低温プラズマ / プラズマ加工 / 表面・界面 / 高精度加工 / 高分子薄膜 / プラズマエッチング / ナノサイズ加工

CF4/O2混合ガスプラズマ排気系における各種金属および合金の腐食機構

Paper図書

杉本, 克久, 東北大学1997-1999<Y151-H09450264>

National Diet Library

Subject Headingプラズマエツチング反応性イオンエツチングプラズマ下流域腐食腐食速度気相...

マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用

Paper図書

寺嶋, 和夫, 東京大学1995-1996<Y151-H07555513>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ・プラズマナノスケール・プラズママルチプローブプラズマ環境STM プラズマエツチング

高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究

Paper図書

南部, 健一, 東北大学1998-2000<Y151-H10305016>

National Diet Library

Subject Heading誘導結合型プラズマプラズマエツチング高周波2電源方式ラジカル流モンテカルロ法ヘリカルコイ...

プラズマエツチングとプラズマ重合の同時制御による金属-高分子組成傾斜膜の試作

Paper図書

原口, 俊秀, 北九州工業高等専門学校1993-1994<Y151-H05650661>

National Diet Library

Subject Headingプラズマエツチングスパツタプラズマ重合組成傾斜膜ステンレス鋼表面処理...

走査プローブプラズマエツチング

Paper図書

細田, 直江, 東京大学1998-1999<Y151-H10650053>

National Diet Library

Subject Headingウエハプローブカードプローブプラズマエツチング MEMS 高真空走査型プローブ顕微鏡ドライエツチングマ...

極薄珪素鋼帯の磁区細分化技術

Paper図書

荒井, 賢一, 東北大学1994-1995<Y151-H06555088>

National Diet Library

Subject Heading3%シリコン鉄磁性合金薄帯細溝磁区細分化渦電流損失鉄損プラズマエツチング走査型電子顕微鏡磁壁枚数

表面磁場を用いる大口径RFプラズマの開発

Paper図書

菅井, 秀郎, 名古屋大学1993-1995<Y151-H04558002>

National Diet Library

Subject Headingプラズマプロセス高密度プラズマ誘導結合型プラズマヘリコンプラズマプラズマエツチング表面磁場フアラデーシールド ITO膜

超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発

Paper図書

菅井秀郎, 名古屋大学1989-1990<Y151-H01880002>

National Diet Library

Subject HeadingプラズマプロセスプラズマエツチングプラズマCVD 表面磁場多極磁場高周波放電フラグメン...

スーパーマグネトロンプラズマを用いたレジストの高精度・超微細エツチング

Paper図書

木下, 治久, 静岡大学1991-1992<Y151-H03805025>

National Diet Library

Subject Headingマグネトロンプラズマスーパーマグネトロンプラズマ半導体プロセスプラズマエツチング低温エツチングクオータミクロンエツチングプラズマプロセ...

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