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3-N-RE混晶半導体/Siを用いた光電子融合デバイス・システムの開発

Paper図書

若原昭浩, 豊橋技術科学大学 [著][若原昭浩]2005-2007<Y151-H17360160>

National Diet Library

Subject Heading希土類 / III族窒化物 / 光電子集積 / ヘテロエピタキシャル成長 / 発光過程

超均一歪場の実現に向けた4族系半導体ヘテロ歪結晶格子の変形制御

Paper図書

酒井朗, 名古屋大学 [著][酒井朗]2004-2006<Y151-H16360005>

National Diet Library

Subject Headingシリコン / ゲルマニウム / 歪み / ヘテロエピタキシャル / 転位 / 欠陥 / 透過電子顕微鏡 / X線回折

スパツタ・イオンプレ-テイング複合人工格子作製装置の研究開発

Paper図書

畑, 朋延, 金沢大学1999-2001<Y151-H11555086>

National Diet Library

Subject Headingスパツタリング人工超格子ヘテロエピタキシヤルフラツシユ蒸着 SiGe イオンプレ-ライレグ

有機金属分子イオンビ-ム技術の高度化とSiCヘテロエピ成膜への応用

Paper図書

後藤, 誠一, 大阪大学2001-2002<Y151-H13558055>

National Diet Library

Subject HeadingSiC 有機金属分子イオンビ-ムメチルシリセニウムイオンヘテロエピタキシヤル成長高速中性粒子

エアブリッジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長

Paper図書

西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著][西野茂弘]2003-2004<Y151-H15360010>

National Diet Library

Subject Heading3C-SiC / 立方晶SiC / ヘテロエピタキシャル成長 / 横方向成長 / 単結晶薄膜成長 / シリコンカーバ...

ダイヤモンド・ヘテロエピタキシヤル層による高耐圧、高周波電界効果トランジスタ

Paper図書

川原田, 洋, 早稲田大学1998-2000<Y151-H10450127>

National Diet Library

Subject Headingダイヤモンドヘテロエピタキシヤル表面チヤネル MESFET MISFET ゲート長遮断周...

InNの薄膜成長とその太陽電池応用

Paper図書

山本, あき勇, 福井大学1994-1996<Y151-H06650360>

National Diet Library

Subject HeadingInN Si タンデム太陽電池 GaAs 窒化 GaN ヘテロエピタキシヤル成長 MOCVD成長

配向性制御による高電気伝導度ITO薄膜の開発

Paper図書

安井, 至, 東京大学1994-1995<Y151-H06555181>

National Diet Library

Subject HeadingITO 配向性ヘテロエピタキシヤル成長スパツタリング薄膜電気伝導

シリコンを基板として用いたIII族窒化物大型バルク単結晶の作製に関する研究

Paper図書

赤さき, 勇, 名城大学1994-1995<Y151-H06452114>

National Diet Library

Subject HeadingIII族窒化物ヘテロエピタキシヤル成長シリコン基板 HVPE法励起子発光

チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長

Paper図書

西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著][西野茂弘]2001-2002<Y151-H13450012>

National Diet Library

Subject Headingヘテロエピタキシャル成長 / 3C-SiC / 立方晶SiC / 横方向成長 /...

ヘテロエピタキシヤルダイヤモンド電界効果トランジスタを利用した耐環境バイオセンサ

Paper図書

川原田, 洋, 早稲田大学1997-1999<Y151-H09555103>

National Diet Library

Subject Headingヘテロエピタキシヤルダイヤモンド多結晶ダイヤモンド FET ISFET 電解質...

Si基板上の表面再構成構造とInSb薄膜のヘテロエピタキシヤル成長

Paper図書

龍山, 智栄, 富山大学1998-2000<Y151-H10450005>

National Diet Library

Subject Headingシリコン基板インジウムアンチモン表面再構成構造交互吸着インジウムアンチモンヘテロエピタキシヤル成長吸着率

極微細領域選択エピタキシヤル成長法の基礎的研究

Paper図書

石田, 誠, 豊橋技術科学大学1994-1996<Y151-H06452216>

National Diet Library

Subject Heading選択エピタキシー電子ビーム照射 Si/Al2O3ヘテロエピタキシヤル成 SOI構造 Al2O3薄膜

界面制御した酸化物薄膜のシリコン基板上へのヘテロエピタキシヤル成長

Paper図書

堀田, 將, 北陸先端科学技術大学院大学1995-1996<Y151-H07650362>

National Diet Library

Subject Headingイツトリア安定化ジルコニアシリコンヘテロエピタキシヤル成長反応性スパツタスパツタリング誘電体

ヘテロエピタキシヤル層のひずみ緩和機構の理論解析

Paper図書

新谷, 一人, 電気通信大学1998-1999<Y151-H10650074>

National Diet Library

Subject Headingヘテロエピタキシヤル層表面モルフオロジー臨界波長臨界膜厚表面ステツプ分...

ダイヤモンド・ヘテロエピタキシャル成長層による耐環境電子デバイスの基礎検討

Paper図書

川原田洋, 早稲田大学1995-1996<Y151-H07650384>

National Diet Library

Subject Headingダイヤモンドヘテロエピタキシヤル成長 MESFET MOSFET 耐環境電子デバイス論理回...

ミリ波・マイクロ波用フエライト薄膜のGaAs半導体基板上へのエピタキシヤル成長

Paper図書

五味, 学, 北陸先端科学技術大学院大学1992-1993<Y151-H04650261>

National Diet Library

Subject Headingヘテロエピタキシヤル成長フエライト薄膜ガーネツトジルコニアスパツタ法マ...

界面制御によるシリコン基板上への強誘電体薄膜のヘテロエピタキシヤル成長

Paper図書

堀田, 将, 北陸先端科学技術大学院大学1997-1998<Y151-H09450125>

National Diet Library

Subject Headingジルコン酸チタン酸鉛シリコン強誘電体イツトリア安定化ジルコニア反応性スパツタリングヘテロエピタキシヤル成長強誘電体メモリ

ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作する4族半導体極微細デバイス

Paper図書

室田淳一, 東北大学1996-1998<Y151-H08405022>

National Diet Library

Subject Headingラングミユア吸着・反応 IV族半導体極微細デバイス原子層成長表面処理原子層エツチング水素終端低温ヘテロエピタキシヤル成長

ランタノイド化合物/半導体積層構造の原子層制御スーパーヘテロエピタキシヤルと物性

Paper図書

藤原, 康文, 名古屋大学1996-1997<Y151-H08650009>

National Diet Library

Subject Headingランタノイド化合物原子層制御スーパーヘテロエピタキシヤル ErP InP X線CTR散乱法原子間刀顕微鏡走査トン...

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