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検索結果 18 件

水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究

水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究
紙図書
松谷晃宏, 東京工業大学 [著][松谷晃宏]2006-2007<Y151-H18510108>
国立国会図書館
  • 件名プラズマ / 水蒸気 / 蛍石 / ドライエッチング / 固体ソース

色素を用いない新しい発色技術の開発-酸化チタン基板への応用-

色素を用いない新しい発色技術の開発-酸化チタン基板への応用-
紙図書
岩木, 龍一, 熊本電波工業高等専門学校1999-2000<Y151-H11650365>
国立国会図書館
  • 件名構造性発色 光触媒 ドライエツチング 微細加工 周期構造

量子ナノ構造を用いる低消費電力・高機能単一波長半導体レーザの研究

量子ナノ構造を用いる低消費電力・高機能単一波長半導体レーザの研究
紙図書
荒井滋久, 東京工業大学 [著][荒井滋久]2005-2007<Y151-H17206010>
国立国会図書館
  • 件名半導体レーザ / 量子細線レーザ / DFBレーザ / 分布反射型レーザ / GaInAsP混晶 / 電子線リソグラフィ / 低損傷ドライエッチング / 半導体薄膜レーザ

レーザー冷却法を用いた異方性ドライエツチングプロセスの開発

レーザー冷却法を用いた異方性ドライエツチングプロセスの開発
紙図書
安武, 潔, 大阪大学1997-1999<Y151-H09555046>
国立国会図書館
  • 件名半導体ドライエツチング Fラジカルビーム レーザー冷却 NF3プラズマ レーザーコ...

細線状活性層による低電流・高効率分布反射型レ-ザの研究

細線状活性層による低電流・高効率分布反射型レ-ザの研究
紙図書
荒井, 滋久, 東京工業大学2000-2002<Y151-H12555098>
国立国会図書館
  • 件名半導体レ-ザ 単一波長レ-ザ 分布反射型レ-ザ 分布帰還レ-ザ GalnAsP混晶 電子線リソグラフイ- 極微構造形成法 ドライエツチング

ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究

ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究
紙図書
堀池, 靖浩, 東京大学1999-2001<Y151-H11555179>
国立国会図書館
  • 件名コンタクト孔底部損傷 フロロカーボン ドライエツチング 壁との相互作用 ドライ洗浄 超高圧透過型電子顕微鏡 ビイア...

気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓
紙図書
尾浦, 憲治郎, 大阪大学1999-2001<Y151-H11305006>
国立国会図書館
  • 件名気相雰囲気下半導体表面プロセス CAICISS TOF-ERDA 表面水素 水素サーフアクタント効果 イオンビームその場計測 気相成長 ドライエツチング

歪補償低次元量子構造を用いる高性能レーザと新機能光デバイスの研究

歪補償低次元量子構造を用いる高性能レーザと新機能光デバイスの研究
紙図書
荒井滋久, 東京工業大学 [著][荒井滋久]2001-2003<Y151-H13305021>
国立国会図書館
  • 件名半導体レーザ / 量子細線レーザ / 歪量子細線レーザ / 多重極微共振器レーザ / GalnAsP混晶 / 電子線リソグラフィー / 有機金属気相成長法 / ドライエッチング

フォトニック結晶特性の作製後チューニング技術に関する研究

フォトニック結晶特性の作製後チューニング技術に関する研究
紙図書
永沼充, 帝京科学大学 [著][永沼充]2002-2003<Y151-H14550337>
国立国会図書館
  • 件名フォトニック結晶 / 2次元構造 / 半導体ピラー / チューニング技術 / レーザ発振 / オートクローニング法 / ドライエッチングダメージ / フォトニックバンドギャップ

原子層エツチング技術の開発研究

原子層エツチング技術の開発研究
紙図書
目黒, 多加志, 理化学研究所1992-1993<Y151-H04452097>
国立国会図書館
  • 件名ガリウム砒素 塩素 ドライエツチング 原子層 デジタルエツチング 自動停止

高誘電率フォトニック結晶ゲル及びセラミックスの低温合成と電気・光学結合特性

高誘電率フォトニック結晶ゲル及びセラミックスの低温合成と電気・光学結合特性
紙図書
桑原誠, 東京大学 [著][桑原誠]2000-2002<Y151-H12305042>
国立国会図書館
  • 件名セラミックフォトニック結晶 / チタニア / チタン酸バリウム / ゾル-ゲル法 / 金属アルコキシド / レジストモールド / 電子ビームリソグラフィ / ドライエッチング

二軸性歪を有する半導体量子細線・量子箱構造の試作およびその光デバイス応用

二軸性歪を有する半導体量子細線・量子箱構造の試作およびその光デバイス応用
紙図書
荒井, 滋久, 東京工業大学1998-2000<Y151-H10450115>
国立国会図書館
  • 件名半導体レーザ 量子細線レーザ 歪量子細線レーザ 多重極微共振器レーザ GaInAsP混晶 電子線リソグラフイー 有機金属気相成長法 ドライエツチング

走査プローブプラズマエツチング

走査プローブプラズマエツチング
紙図書
細田, 直江, 東京大学1998-1999<Y151-H10650053>
国立国会図書館
  • 件名ウエハプローブカード プローブ プラズマエツチング MEMS 高真空走査型プローブ顕微鏡 ドライエツチング マイクロプラズマ マイクロ走査型力顕微鏡プローブ

次世代ドライエツチ用,狭ギヤツプVHFエツチヤの物理とプロセス最適制御

次世代ドライエツチ用,狭ギヤツプVHFエツチヤの物理とプロセス最適制御
紙図書
真壁, 利明, 慶応義塾大学1993-1994<Y151-H05452106>
国立国会図書館
  • 件名ドライエツチング プラズマプロセス 狭ギヤツプ・RIE VHPプラズマ 非平...

圧縮歪超格子を用いる長波長帯量子細線半導体レーザに関する基礎研究

圧縮歪超格子を用いる長波長帯量子細線半導体レーザに関する基礎研究
紙図書
荒井, 滋久, 東京工業大学1993-1994<Y151-H05452184>
国立国会図書館
  • 件名半導体レーザ 量子細線 量子箱 歪量子井戸 電子ビーム露光法 ECRドライエツチング法 自然放出光 キヤリア捕獲時間

歪量子細線を用いる多重極微共振器半導体レーザに関する研究

歪量子細線を用いる多重極微共振器半導体レーザに関する研究
紙図書
荒井, 滋久, 東京工業大学1995-1996<Y151-H07455418>
国立国会図書館
  • 件名半導体レーザ 量子細線レーザ 歪量子細線レーザ 多重極微共振器レーザ GaInAsP混晶 電子線リソグラフイー 有機金属気相成長法 ドライエツチング

多次元量子井戸構造による超高速光デバイスの研究

多次元量子井戸構造による超高速光デバイスの研究
紙図書
浅田, 雅洋, 東京工業大学1988-1990<Y151-S63850059>
国立国会図書館
  • 件名多次元量子井戸レーザ 超高速光デバイス CaInAs/InP 量子細線 量子箱 交差型光スイツチ 低損傷ドライエツチング

超微細構造GaInAs/InPデバイス作製技術に関する研究

超微細構造GaInAs/InPデバイス作製技術に関する研究
紙図書
古屋, 一仁, 東京工業大学1988-1989<Y151-S63850077>
国立国会図書館
  • 件名極微細構造 有機金属気相成長法 電子ビーム露光法 化学エツチング 電子波反射 ドライエツチング 量子細線レーザ OMVPE埋め込み成長

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