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- Subject Headingシリコン単結晶 / 窒素 / 赤外吸収法 / 放射化分析法 / SIMS ...
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- Subject Headingマイクロマシン マイクロメカニズム 微小材料 疲労 疲労試験 シリコン単結晶 異方性エツチング
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- Subject Headingシリコン単結晶型太陽電池 風力発電機 サイクルユ-ス用バツテリ- 地磁気セ...
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- Subject Headingマイクロトライボロジ- 走査プロ-ブ顕微鏡 金属ガラス 非平衡材料 シリコン単結晶 硬質薄膜 マイクロマシン
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- Subject Headingシリコン単結晶 / チヨクラルスキー炉 / 酸素移動 / 数値シミュレーシ...
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- Subject Headingマイクロマシン マイクロメカニズム 疲労 微小材料 疲労試験機 シリコン単結晶
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- Subject Headingシリコン単結晶 シリコン融液内対流 シリコン融液・石英るつぼ反応 SiO蒸...
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- Subject Headingグリズム 赤外線分光 回折格子 シリコン単結晶 ルーリングエンジン 異方性エツチング
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- Subject Headingレーザ光弾性 応力分布計測 実験応力解析 光弾性変調器 シリコン単結晶
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- Subject Heading第一原理分子動力学シミユレ-シヨン 平面波基底 超純粋電解加工法 シリコン単結晶表面 水酸化物イオン 水素イオン エツチング 酸化反応
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- Subject Headingシリコン単結晶 チヨクラルスキー法 シリカるつぼ シリコン融体表面 局部溶...
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- Subject Headingシリコン単結晶 マイクロトライボロジー 超微小硬さ 高温動的微小硬さ 酸化...
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- Subject Headingシリコン単結晶 CZ法 転位密度 熱応力 分子動力学法 有限要素法 Haa...
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- Subject Headingモデリング 水酸化カリウム エツチング速度 シリコン単結晶 結晶異方性エツチング プロセスシミユレーシヨン マイクロマ...
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- Subject Heading光散乱 トモグラフイー 光散乱トモグラフイー シリコン単結晶 砒化カリユウム単結晶 セレン化亜鉛単結晶 格子欠陥 転位組...
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- Subject Headingシリコン単結晶 原子間力顕微鏡 摩擦・摩耗 透過型電子顕微鏡 高温