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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス第2版

Paper図書

小島啓安著日刊工業新聞社2015.2<ND371-L60>

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

Contents内容紹介：スパッタリングプロセスの第一人者がＱ＆Ａ方式で現場の疑問をわかりやすく解説...
Subject Heading薄膜スパッタリング
Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム半導体薄膜スパッタリング技術 Thin films スパッタスパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)

スパッタ実務「Q&A集」

Paper図書

藤本登企画編集技術情報協会2009.1<ND371-J60>

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

Subject Headingスパッタリング
Authority（Subject Heading/altLabel）スパッタスパッタリング技術スパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

Paper図書

小島啓安著日刊工業新聞社2008.8<ND371-J33>

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

Subject Heading薄膜スパッタリング
Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム半導体薄膜スパッタリング技術 Thin films スパッタスパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)
Authority（Subject Heading/broader/narrower）膜 (工学) 金属薄膜磁性薄膜衝突 (原子物理学) プラスチックフィルム表面 (工学) 光学薄膜薄膜透明導電膜界面化学スパッタリング

オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術

Paper図書

技術情報協会2006.10<ND416-H155>

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

Subject Headingオプトエレクトロニクス薄膜スパッタリング
Authority（Subject Heading/altLabel）光エレクトロニクス半導体薄膜スパッタリング技術光電子工学スパッタリング法オプトロニクス Optoelectronics フィルム...
Authority（Subject Heading/broader/narrower）...ーザ界面化学ホログラフィスパッタリングフォトニクス膜 (工学)

零温度特性を有する超精密薄膜抵抗材料の超高抵抗率化に関する研究

Paper図書

佐藤祐一, 秋田大学 [著][佐藤祐一]2004-2006<Y151-H16560267>

National Diet Library

Subject Heading薄膜 / スパッタリング / 抵抗

高耐熱B-C-X系硬質膜を用いた難削材の高効率加工に関する研究

Paper図書

神崎昌郎, 東海大学 [著][神崎昌郎]2006-2007<Y151-H18560113>

National Diet Library

Subject Heading薄膜 / スパッタリング / ホウ素 / 炭素 / 切削加工

新規なコンビナトリアル・スパッタ成膜法を用いるEL素子用蛍光体薄膜の開発

Paper図書

宮田俊弘, 金沢工業大学 [著][宮田俊弘]2006-2007<Y151-H18560704>

National Diet Library

Subject Heading薄膜 / EL素子 / コンビナトリアル / スパッタリング / 蛍光体

ナノ積層した酸素バリア性を有する多機能IZ0透明導電膜の成膜加工

Paper図書

村上理一, 徳島大学 [著][村上理一]2005-2006<Y151-H17360051>

National Diet Library

Subject Heading透明導電膜 / ガスバリア膜 / 積層化 / スパッタリング

誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成

Paper図書

松田良信, 長崎大学 [著][松田良信]2005-2007<Y151-H17540472>

National Diet Library

Subject Heading誘導結合プラズマ / スパッタリング / 透明誘電膜 / 酸化亜鉛

電気磁気効果を示す磁性酸化物薄膜を応用した電界駆動型磁気光学素子に関する研究

Paper図書

加島篤, 北九州工業高等専門学校 [著][加島篤]2005-2006<Y151-H17560297>

National Diet Library

Subject Heading磁性薄膜 / スパッタリング / 電気磁気効果 / MIS構造 / 誘電率

固体炭素源を用いた2源スパツタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長

Paper図書

井上, 尚三, 姫路工業大学2001-2002<Y151-H13650097>

National Diet Library

Subject HeadingTiC 炭化物薄膜スパツタリング多層薄膜

強磁性強誘電性酸化物スパツタ薄膜の物性発現機構と電子薄膜デバイスへの応用

Paper図書

加島, 篤, 北九州工業高等専門学校2001-2002<Y151-H13650364>

National Diet Library

Subject Heading酸化物磁性薄膜反応スパツタリング誘電率

反応性スパツタリング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール

Paper図書

小寺澤, 啓司, 姫路工業大学1998-1999<Y151-H10650096>

National Diet Library

Subject Heading窒化チタン反応性スパツタリングプロセス制御分光分析二源スパツタリング

スパッタ薄膜 : 基礎と応用

PaperDigital図書

小林春洋著日刊工業新聞社1993.2<ND354-E48>

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Subject Heading薄膜スパッタリング
Authority（Subject Heading/altLabel）フィルム半導体薄膜スパッタリング技術 Thin films スパッタスパッタリング法スパッタ技術 Sputtering (Physics)
Authority（Subject Heading/broader/narrower）膜 (工学) 金属薄膜磁性薄膜衝突 (原子物理学) プラスチックフィルム表面 (工学) 光学薄膜薄膜透明導電膜界面化学スパッタリング