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ゴムを用いた電磁アクチュエータに関する研究

ゴムを用いた電磁アクチュエータに関する研究
Paper図書
野村健作, 津山工業高等専門学校 [著][野村健作]2005-2006<Y151-H17510111>
National Diet Library
  • Subject Heading電磁アクチュエータ / ゴム / 超精密位置決め / 顕微鏡ステージ / 微細作業

ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究(総括班)

ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究(総括班)
Paper図書
樋口俊郎, 東京大学 [著][樋口俊郎]2004-2008<Y151-TR438-001>
National Diet Library
  • Subject Headingアクチュエータ / モータ / 超精密位置決め / MEMS / 人工筋肉 / 特殊環境 / 機能性材料 ...

熱変形ドリフト対策を構じたサブナノメートル分解能の小型超精密位置決め装置

熱変形ドリフト対策を構じたサブナノメートル分解能の小型超精密位置決め装置
Paper図書
大塚二郎, 静岡理工科大学 [著][大塚二郎]2002-2004<Y151-H14350076>
National Diet Library
  • Subject Heading熱変形 / サブナノメートル / 超精密位置決め / ビジュアルサーボ

非線形外乱オブザーバによる工作機械の高精度化

非線形外乱オブザーバによる工作機械の高精度化
Paper図書
大塚, 二郎, 静岡理工科大学2000-2001<Y151-H12650129>
National Diet Library
  • Subject Heading超精密位置決め 非線形外乱オブザーバ 象現突起 1nm分解能 フイードバツ...

すべり案内面の変位-摩擦負荷特性を考慮した位置決め機構の制御系シンセシスの研究

すべり案内面の変位-摩擦負荷特性を考慮した位置決め機構の制御系シンセシスの研究
Paper図書
金井彰, 足利工業大学 [著][金井彰]2001-2002<Y151-H13650127>
National Diet Library
  • Subject Headingすべり案内 / 摩擦 / 摺動抵抗 / 位置決め / 超精密位置決め / 超精密加工 / 研削盤 / トライボロジー

高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究

高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究
Paper図書
新野, 秀憲, 東京工業大学2000-2001<Y151-H12450056>
National Diet Library
  • Subject Headingテーブルシステム 超精密位置決め リニアモータ 工作機械 半導体製造装置 ER流体 減衰特性...

超精密位置決めにおける送りねじの微視的変位挙動とその動的モデルに関する研究

超精密位置決めにおける送りねじの微視的変位挙動とその動的モデルに関する研究
Paper図書
深田, 茂生, 信州大学1995-1996<Y151-H07650171>
National Diet Library
  • Subject Heading超精密位置決め 送りねじ ボールねじ 非線形ばね特性 微視的挙動

送り・案内要素の特性を考慮したナノメータ精度位置決めの研究

送り・案内要素の特性を考慮したナノメータ精度位置決めの研究
Paper図書
大塚, 二郎, 静岡理工科大学1992-1993<Y151-H04302030>
National Diet Library
  • Subject Heading超精密位置決め ナノメータ 送り要素 案内要素

Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発

Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発
Paper図書
社本, 英二, 神戸大学1998-1999<Y151-H10555041>
National Diet Library
  • Subject HeadingWalking Drive 圧電素子 超精密位置決め 送り装置 XYθテーブル 高剛性 高分解能 デユアルモード...

摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究

摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究
Paper図書
大塚, 二郎, 静岡理工科大学1992-1993<Y151-H04402027>
National Diet Library
  • Subject Heading摩擦駆動 超精密位置決め 超高速位置決め ナノメータ 位置決め精度

結晶格子をスケールとするサブナノメートル測長・加工機の開発研究

結晶格子をスケールとするサブナノメートル測長・加工機の開発研究
Paper図書
明田川, 正人, 長岡技術科学大学1996-1998<Y151-H08555034>
National Diet Library
  • Subject Heading走査型トンネル顕微鏡 (STM) 比較測長 結晶格子 ナノメートル 熱ドリフト 極低熱膨張ガラス 超精密位置決め ロツクインアンプ

走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究

走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究
Paper図書
森脇, 俊道, 神戸大学1995-1996<Y151-H07455066>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロマニユフアクチヤリング 電子顕微鏡 楕円振動切削 切削力 ばり Walking Drive 超精密位置決め XYΘテーブル

Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発

Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発
Paper図書
森脇, 俊道, 神戸大学1994-<Y151-H06555039>
National Diet Library
  • Subject HeadingWalking Drive 超精密加工機 圧電素子 精密送りテーブル 超精密位置決め ナノテクノロジー 運動精度

プラスチツク構造による高速型超精密位置決め装置の試作

プラスチツク構造による高速型超精密位置決め装置の試作
Paper図書
大塚, 二郎, 東京工業大学1990-1991<Y151-H02555048>
National Diet Library
  • Subject Heading超精密位置決め プラスチツク ナノメータ 高速位置決め フイードバツク制御

5自由度制御型能動空気軸受の試作研究

5自由度制御型能動空気軸受の試作研究
Paper図書
下河辺, 明, 東京工業大学1990-1991<Y151-H02555026>
National Diet Library
  • Subject Heading空気軸受 能動空気軸受 能動制振 超精密位置決め 圧電素子 超精密機構 メカトロニクス

制御形高性能空気軸受の試作

制御形高性能空気軸受の試作
Paper図書
下河辺, 明, 東京工業大学1988-1989<Y151-S63850030>
National Diet Library
  • Subject Heading空気軸受 能動化 能動制振 超精密位置決め 圧電素子 超精密機構 メカトロニクス

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