「"ウエハ-"」の検索結果 | NDLサーチ

検索結果 16 件

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ウェハー上のマイクロ冷凍機

紙図書

久保田裕巳, 九州大学 [著][久保田裕巳]2006-2007<Y151-H18560203>

国立国会図書館

件名マイクロ・デバイス / 冷凍機 / ウェハー

メタルCMPの研磨作用とスラリーの開発

紙図書

柴田順二, 芝浦工業大学 [著][柴田順二]2003-2004<Y151-H15560101>

国立国会図書館

件名CPM / 研磨 / スラリー / ゾル-ゲル法 / シリカ / パッド / メタル / ウエハー

Si半導体ウエハ-の温度計測法の研究

紙図書

井内, 徹, 東洋大学2001-2002<Y151-H13650468>

国立国会図書館

件名シリコン半導体ウエハ- 放射測温放射率偏光酸化膜薄膜

IT関連産業から発生する廃混酸の処理への溶媒抽出法の適用

紙図書

芝田隼次, 関西大学 [著][芝田隼次]2003-2004<Y151-H15360485>

国立国会図書館

件名IT関連産業 / シリコンウエハー / エッチング廃液 / 溶媒抽出 / 混酸廃液 / 分離操...

プラナリゼーシヨンにおけるCMP作用の解明とCMP用ゾル・ゲル研磨剤の開発

紙図書

柴田, 順二, 芝浦工業大学1998-2000<Y151-H10450062>

国立国会図書館

件名CMP プラナリゼーシヨンゾル・ゲル法研磨剤 Siウエハー研磨布 pH シリカ

耐故障並列処理集積システムの理論と設計

紙図書

金子, 峰雄, 北陸先端科学技術大学院大学1997-1999<Y151-H09450158>

国立国会図書館

件名集積回路システム耐故障故障検出故障診断誤り訂正並列計算処理再構成ウエハースケール集積回路

イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲツタリング機構の定量的解析

紙図書

友清, 芳二, 九州大学1995-1996<Y151-H07455010>

国立国会図書館

件名不純物ゲツタリングシリコンウエハー格子歪み酸素析出物収束電子回折高次ラウエゾーン

赤外線表面波光および導波光による半導体エピタクシヤル膜の評価

紙図書

小川, 智哉, 学習院大学1988-1989<Y151-S63460059>

国立国会図書館

件名半導体エピタクシヤル成長膜イオン注入光散乱格子欠陥ウエハーの評価

超薄膜干渉計の試作

紙図書

小川, 智哉, 学習院大学1992-1994<Y151-H04555006>

国立国会図書館

件名CZ-Siウエハー denuded zone intrinsic getter...

熱CVD装置のシミユレーシヨン

紙図書

加藤, 邦夫, 群馬大学1989-1990<Y151-H01303009>

国立国会図書館

件名CVD 多結晶シリコンエピタキシヤル成長ウエハー薄膜形成超微粒子自然対流シリコン化合物

金属・半導体材料表面薄膜の化学的評価法の開発と表面分析用薄膜標準物質作製への展開

紙図書

田中龍彦, 東京理科大学 [著][田中龍彦]2005-2007<Y151-H17550086>

国立国会図書館

積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究

紙図書

菊田和重, 北海道大学 [著][菊田和重]2003-2004<Y151-H15560164>

国立国会図書館

次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究

紙図書

周立波, 茨城大学 [著][周立波]2004-2006<Y151-H16360061>

国立国会図書館

光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発

紙図書

三好隆志, 大阪大学 [著][三好隆志]2001-2003<Y151-H13355006>

国立国会図書館

超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発

紙図書

後藤英和, 森勇蔵, 大阪大学 [著][後藤英和]2002-2003<Y151-H14205025>

国立国会図書館

ポリシング用砥粒としての焼成貝殻セラミックスの有効利用

紙図書

中村等, 八戸工業高等専門学校 [著][中村等]2003-2004<Y151-H15560107>

国立国会図書館

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