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高機能酸化物薄膜形成方法の研究

Paper図書

松尾, 二郎, 京都大学2000-2001<Y151-H12650697>

National Diet Library

Subject Heading酸化膜酸素クラスター多体衝突効果高密度照射効果薄膜形成酸化物薄膜

高効率マイクロ波放電プラズマによる機能性薄膜形成

Paper図書

藤田, 順治, 大同工業大学2000-2001<Y151-H12558047>

National Diet Library

Subject Headingプラズマ応用薄膜形成機能性薄膜プラズマ分光プラズマ化学反応マイクロ波放電

ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究

Paper図書

中山, 登史男, 山口東京理科大学1997-1998<Y151-H09650798>

National Diet Library

Subject Headingマイクロスパツタリングエツチング薄膜形成ミリ加工ミクロン加工

高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究

Paper図書

中島, 寛, 九州大学1997-1998<Y151-H09650363>

National Diet Library

Subject Headingシリコン極薄絶縁膜 ECRプラズマ低温薄膜形成電気的機能性スパツタリング

機能性薄膜の形成技術の開発と応用

Paper図書

安田, 幸夫, 名古屋大学1988-1989<Y151-S63302021>

National Diet Library

Subject Heading機能性薄膜薄膜形成技術

知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究

Paper図書

大見, 忠弘, 東北大学1998-1999<Y151-H10044114>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ波プラズマ平行平板プラズマコンタミネーシヨンフリー半導体プロセス高品質薄膜形成

超高密度イオンビーム照射による表面改質の研究

Paper図書

松尾, 二郎, 京都大学1996-1997<Y151-H08650843>

National Diet Library

Subject Headingクラスターイオン酸化反応エツチングスパツタリング SiC 薄膜形成 InOx 導電性透明薄膜

放射光励起ガスソースCVDによる高誘電体薄膜の低温形成

Paper図書

庭野, 道夫, 東北大学1991-1993<Y151-H03452149>

National Diet Library

Subject Heading放射光高誘電体薄膜低温薄膜形成半導体表面光励起反応 CVD

高速度測定の可能な低速電子回折システムの開発

Paper図書

河津, 璋, 東京大学1988-1989<Y151-S63850004>

National Diet Library

Subject Heading低速電子回折表面構造画像処理表面の動的過程薄膜形成

In,P化合物を用いるMOCVD,ALEにおける表面反応基礎過程の研究

Paper図書

福田, 安生, 静岡大学1995-1996<Y151-H07640770>

National Diet Library

Subject Heading表面反応化合物半導体薄膜薄膜形成機構昇温脱離走査トンネル顕微鏡電子分光アルキルフオス...

スピンコーテイングにおける薄液膜形成過程

Paper図書

松本, 洋一郎, 東京大学1989-1990<Y151-H01460110>

National Diet Library

Subject Heading液膜流れ回転円盤回転塗布法薄膜形成熱物質移動相変化厚さ計測数値解析

次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究

Paper図書

山田, 公, 京都大学1992-1994<Y151-H04555003>

National Diet Library

Subject Headingガスクラスター高密度照射効果低エネルギーイオンビームラテラルスパツタイオン注入表面クリーニング薄膜形成 LSI

機能性薄膜の界面接合プロセスおよびその評価

Paper図書

仲田, 周次, 大阪大学1989-1991<Y151-H01420042>

National Diet Library

Subject Heading界面接合プロセス薄膜形成ダイヤモンド薄膜電子照射形CVD法 STM STS マイ...

熱CVD装置のシミユレーシヨン

Paper図書

加藤, 邦夫, 群馬大学1989-1990<Y151-H01303009>

National Diet Library

Subject HeadingCVD 多結晶シリコンエピタキシヤル成長ウエハー薄膜形成超微粒子自然対流シリコン化合物

セラミックススラリーのレオロジー制御とコーティングによる積層薄膜の形成

Digital文書・図像類

大坪, 泰文2003-05

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Subject Headingセラミックススラリーレオロジー制御薄膜形成凝集構造コーティング会合性高分子可逆架橋

高機能酸化物薄膜形成方法の研究

Digital文書・図像類

松尾, 二郎京都大学2002-03

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Subject Heading...膜酸化物薄膜多体衝突効果薄膜形成酸素クラスター高密度照射効果酸化膜 oxidation...

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