検索結果 27 件
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- 件名シリコン酸化膜 酸素負イオン酸化 素子分離用酸化膜 高速シリコン酸化 低損傷酸化膜 低温シリコン酸化 サブオキサイド プラズマプロセス
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- 件名高誘電率絶縁膜 / 集積回路 / ゲート絶縁膜 / 伝導機構 / 電荷捕獲 / 信頼性 / シリコン酸化膜 / 酸素欠損
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- 件名マイクロ波放電 / 表面波プラズマ / 大面積プラズマ / スロットアンテナ / 太陽電池 / 液晶ディスプレイ / 微結晶シリコン / シリコン酸化
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- 件名プラズマプロセス エツチング シリコン酸化膜 プラズマ・壁相互作用 RFバイアス イオン衝撃 壁制御 ...
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- 件名リチウムマンガン酸化物 リチウムコバルト酸化物 ゾル-ゲル薄膜成長 シリコン基板 シリコン酸化物固体電解質 3d準位 Mott型電気伝導 ラマン活性モ-ド
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- 件名ゲルマニウム添加シリカガラス シリカ 光誘起欠陥 エキシマレーザ 光誘起屈折率変化 光フアイバ グレーテイング シリコン酸化膜