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ウェハー上のマイクロ冷凍機

Paper図書

久保田裕巳, 九州大学 [著][久保田裕巳]2006-2007<Y151-H18560203>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ・デバイス / 冷凍機 / ウェハー

メタルCMPの研磨作用とスラリーの開発

Paper図書

柴田順二, 芝浦工業大学 [著][柴田順二]2003-2004<Y151-H15560101>

National Diet Library

Subject HeadingCPM / 研磨 / スラリー / ゾル-ゲル法 / シリカ / パッド / メタル / ウエハー

Si半導体ウエハ-の温度計測法の研究

Paper図書

井内, 徹, 東洋大学2001-2002<Y151-H13650468>

National Diet Library

Subject Headingシリコン半導体ウエハ- 放射測温放射率偏光酸化膜薄膜

IT関連産業から発生する廃混酸の処理への溶媒抽出法の適用

Paper図書

芝田隼次, 関西大学 [著][芝田隼次]2003-2004<Y151-H15360485>

National Diet Library

Subject HeadingIT関連産業 / シリコンウエハー / エッチング廃液 / 溶媒抽出 / 混酸廃液 / 分離操...

プラナリゼーシヨンにおけるCMP作用の解明とCMP用ゾル・ゲル研磨剤の開発

Paper図書

柴田, 順二, 芝浦工業大学1998-2000<Y151-H10450062>

National Diet Library

Subject HeadingCMP プラナリゼーシヨンゾル・ゲル法研磨剤 Siウエハー研磨布 pH シリカ

耐故障並列処理集積システムの理論と設計

Paper図書

金子, 峰雄, 北陸先端科学技術大学院大学1997-1999<Y151-H09450158>

National Diet Library

Subject Heading集積回路システム耐故障故障検出故障診断誤り訂正並列計算処理再構成ウエハースケール集積回路

イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲツタリング機構の定量的解析

Paper図書

友清, 芳二, 九州大学1995-1996<Y151-H07455010>

National Diet Library

Subject Heading不純物ゲツタリングシリコンウエハー格子歪み酸素析出物収束電子回折高次ラウエゾーン

赤外線表面波光および導波光による半導体エピタクシヤル膜の評価

Paper図書

小川, 智哉, 学習院大学1988-1989<Y151-S63460059>

National Diet Library

Subject Heading半導体エピタクシヤル成長膜イオン注入光散乱格子欠陥ウエハーの評価

超薄膜干渉計の試作

Paper図書

小川, 智哉, 学習院大学1992-1994<Y151-H04555006>

National Diet Library

Subject HeadingCZ-Siウエハー denuded zone intrinsic getter...

熱CVD装置のシミユレーシヨン

Paper図書

加藤, 邦夫, 群馬大学1989-1990<Y151-H01303009>

National Diet Library

Subject HeadingCVD 多結晶シリコンエピタキシヤル成長ウエハー薄膜形成超微粒子自然対流シリコン化合物

金属・半導体材料表面薄膜の化学的評価法の開発と表面分析用薄膜標準物質作製への展開

Paper図書

田中龍彦, 東京理科大学 [著][田中龍彦]2005-2007<Y151-H17550086>

National Diet Library

積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究

Paper図書

菊田和重, 北海道大学 [著][菊田和重]2003-2004<Y151-H15560164>

National Diet Library

次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究

Paper図書

周立波, 茨城大学 [著][周立波]2004-2006<Y151-H16360061>

National Diet Library

光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発

Paper図書

三好隆志, 大阪大学 [著][三好隆志]2001-2003<Y151-H13355006>

National Diet Library

超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発

Paper図書

後藤英和, 森勇蔵, 大阪大学 [著][後藤英和]2002-2003<Y151-H14205025>

National Diet Library

ポリシング用砥粒としての焼成貝殻セラミックスの有効利用

Paper図書

中村等, 八戸工業高等専門学校 [著][中村等]2003-2004<Y151-H15560107>

National Diet Library

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