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極薄シリコン酸化膜スペーサを用いたナノギャップ構造トンネル分光デバイスの研究

Paper図書

森田瑞穂, 大阪大学 [著][森田瑞穂]2002-2005<Y151-H14350166>

National Diet Library

Subject Headingナノギャップ / 電子応答 / シリコン酸化膜

酸素負イオンプラズマによるシリコンの低温高速酸化に関する研究

Paper図書

進藤, 春雄, 東海大学1999-2000<Y151-H11680490>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化膜酸素負イオン酸化素子分離用酸化膜高速シリコン酸化低損傷酸化膜低温シリコン酸化サブオキサイドプラズマプロセス

レ-ザ-デトネ-シヨン誘起ブロ-ドアトムビ-ムによる低損傷低温極表面改質法の開発

Paper図書

大前, 伸夫, 神戸大学2000-2002<Y151-H12555200>

National Diet Library

Subject Heading原子状酸素シリコン表面改質シリコン酸化膜原子ビ-ム

シリコンの酸窒化処理による表面応力の動的挙動と電気特性

Paper図書

板倉明子, 物質・材料研究機構 [著][板倉明子]2003-2005<Y151-H15560026>

National Diet Library

Subject Heading表面応力 / シリコン酸化 / シリコン酸窒化 / 窒素ラジカル / 窒素イオン / ...

電気的解析手法と構造的解析手法の融合によるシリコン酸化膜の破壊機構に関する研究

Paper図書

舛岡, 富士雄, 東北大学1998-1999<Y151-H10305023>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化膜フラツシユメモリ構造解析

超高速時間分解振動分光法を用いた金属微粒子表面上での光化学反応の研究

Paper図書

渡邊, 一也, 総合研究大学院大学1998-1999<Y151-H10640570>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化光刺激脱離二酸化炭素 THz電磁波銀 (110)

酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善

Paper図書

山部紀久夫, 筑波大学 [著][山部紀久夫]2004-2005<Y151-H16360016>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率絶縁膜 / 集積回路 / ゲート絶縁膜 / 伝導機構 / 電荷捕獲 / 信頼性 / シリコン酸化膜 / 酸素欠損

縦型共鳴トンネル構造の共鳴/非共鳴条件による動作機能可変SOI量子デバイスの研究

Paper図書

森田, 瑞穂, 大阪大学1998-2000<Y151-H10450123>

National Diet Library

Subject Heading半導体デバイス半導体プロセスシリコンシリコン酸化膜シリコン・オン・インシユレータ

ステツプ配列制御による完全ステツプフリーシリコン/酸化膜界面の形成と評価

Paper図書

須藤, 孝一, 大阪大学2000-2001<Y151-H12650029>

National Diet Library

Subject Headingシリコンシリコン酸化膜界面ラフネスステツプ自己組織化走査トンネル顕微鏡 ...

マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

Paper図書

菅井秀郎, 名古屋大学 [著][菅井秀郎]2003-2005<Y151-H15204053>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ波放電 / 表面波プラズマ / 大面積プラズマ / スロットアンテナ / 太陽電池 / 液晶ディスプレイ / 微結晶シリコン / シリコン酸化

極薄シリコン酸化膜/シリコン界面のキヤリア捕獲準位と微視的構造との関係の解明

Paper図書

服部, 健雄, 武蔵工業大学1998-2000<Y151-H10450020>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化膜 Si-SiO2 界面構造弾性散乱非弾性散乱光電子回...

フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用

Paper図書

中村, 圭二, 中部大学1998-2000<Y151-H10680457>

National Diet Library

Subject Headingプラズマプロセスエツチングシリコン酸化膜プラズマ・壁相互作用 RFバイアスイオン衝撃壁制御 ...

シリコン基板上へのリチウムイオン積層伝導薄膜の形成と物性評価

Paper図書

栗山, 一男, 法政大学2000-2002<Y151-H12450016>

National Diet Library

Subject Headingリチウムマンガン酸化物リチウムコバルト酸化物ゾル-ゲル薄膜成長シリコン基板シリコン酸化物固体電解質 3d準位 Mott型電気伝導ラマン活性モ-ド

シリコン酸化膜/シリコン界面形成の原子スケール制御による超平坦界面の実現

Paper図書

服部, 健雄, 武蔵工業大学1996-1998<Y151-H08455023>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化膜 Si-SiO2 界面構造原子スケール酸化膜の層状成長...

高感度チャージポンピング・スピン共鳴法の開発と電子対再結合のスピン制御

Digital文書・図像類

小野, 行徳静岡大学2017-06-07

Other Libraries in Japan

Subject Headingチャージポンピング電子スピン共鳴シリコン酸化膜界面

極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビツトメモリ配線への応用

Paper図書

広瀬, 全孝, 広島大学1992-1994<Y151-H04555071>

National Diet Library

Subject HeadingプラズマCVD シリコン酸化膜全反射赤外吸収分光その場観察平坦化技術選択成長法

弗素の触媒作用によるシリコンの低温増速酸化法の開発

Paper図書

森田, 瑞穂, 東北大学1985-1986<Y151-S60850061>

National Diet Library

Subject Heading低温酸化シリコン酸化弗素触媒

電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析

Paper図書

長谷川, 誠一, 金沢大学1993-1994<Y151-H05650009>

National Diet Library

Subject Headingシリコン窒化膜シリコン酸化膜プラズマCVD 結合構造電荷移動モデルランダム結合モ...

ゲルマニウム添加シリカガラスにおける欠陥の構造とその光非線形性発現に果たす役割

Paper図書

大木, 義路, 早稲田大学1994-1995<Y151-H06452222>

National Diet Library

Subject Headingゲルマニウム添加シリカガラスシリカ光誘起欠陥エキシマレーザ光誘起屈折率変化光フアイバグレーテイングシリコン酸化膜

低周波プラズマCVD(TEOS+O2)によるシリコン酸化膜の低温形成プロセス開発

Paper図書

伊達, 広行, 北海道大学1992-1993<Y151-H04555018>

National Diet Library

Subject HeadingプラズマCVD シリコン酸化膜低周波プラズマ TEOS 薄膜生成低温プロセス集積回...

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