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マイクロ波プラズマCVDによるホウ素ドープダイヤモンドの合成と加工に関する研究

Digital博士論文障害者向け資料あり

佐久間, 友也2019-03-22

National Diet Library

Subject Headingホウ素ドープダイヤモンドマイクロ波プラズマCVD 界面設計 Boron-doped diamond m...

マイクロ波水蒸気プラズマを利用した車載型ガソリン改質装置の開発

Paper図書

関口秀俊, 東京工業大学 [著][関口秀俊]2001-2003<Y151-H13558054>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ波プラズマ / 水蒸気 / 改質 / 水素 / ヘキサン / システム...

マイクロ波プラズマを用いる低温滅菌技術の開発とその医療応用への展開

Paper図書

永津雅章, 静岡大学 [著][永津雅章]2004-2006<Y151-H16340180>

National Diet Library

Subject Headingプラズマ滅菌 / 表面波プラズマ / 体積波プラズマ / 酸素ラジカル / マイクロ波プラズマ / 低温滅菌 / 紫外線 / 医療応用

微細スケルトン構造白金/CVDダイヤモンド積層薄膜への水素の注入とその拡散

Paper図書

伊藤利道, 大阪大学 [著][伊藤利道]2001-2003<Y151-H13450128>

National Diet Library

Subject Heading白金薄膜 / ダイヤモンド薄膜 / CVD / 埋込み構造 / ナノ構造 / マイクロ波プラズマ / 自己組織化 / 水素

MWCVDを使って各種金属基板に創製したダイヤモンド薄膜の機械的性質の評価

Paper図書

村上理一, 徳島大学1997-1998<Y151-H09650106>

National Diet Library

Subject Headingダイヤモンド薄膜マイクロ波プラズマ CVD 機械的性質密着強度

段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術

Paper図書

大見, 忠弘, 東北大学2000-2001<Y151-H12355014>

National Diet Library

Subject HeadingLSI RLSA シヤワープレートクラスターツール段階投資半導体生産マイクロ波プラズマエツチング

ダイヤモンド膜の二段階CVD成長法による切削工具の高信頼化

Paper図書

光田, 好孝, 東京大学1998-2000<Y151-H10555243>

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Subject Headingダイヤモンド CVD 切削工具二段階成長マイクロ波プラズマ高信頼性超硬基盤材料密着性

不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究

Paper図書

平山, 昌樹, 東北大学2000-2001<Y151-H12838001>

National Diet Library

Subject Heading強誘電体ゲート絶縁膜 LSI シリコン窒化膜マイクロ波プラズマ有機金属ガスパリア膜酸素ラジカル

気相製膜法によるダイヤモンド被覆マイクロドリルの開発

Paper図書

諸岡, 成治, 九州大学1997-1998<Y151-H09450288>

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Subject Headingダイヤモンドマイクロドリル CVD マイクロ波プラズマ結晶析出コーテイング

人工合成ダイヤモンドを用いたEQCMによるヒューマンセンシング技術

Paper図書

吉原佐知雄, 宇都宮大学 [著][吉原佐知雄]2004-2005<Y151-H16310067>

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Subject Headingホウ素ドープダイヤモンド / 電気化学QCM / DNA / マイクロ波プラズマCVD / リフロー / アミノ改質 / カルボキシル / ...

高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用

Paper図書

永津雅章, 静岡大学 [著][永津雅章]2002-2003<Y151-H14580516>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ波プラズマ / 大面積プラズマCVD / カーボン系薄膜 / ダイヤモ...

知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究

Paper図書

大見, 忠弘, 東北大学1998-1999<Y151-H10044114>

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Subject Headingマイクロ波プラズマ平行平板プラズマコンタミネーシヨンフリー半導体プロセ...

閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立

Paper図書

伊藤, 治彦, 長岡技術科学大学1999-2001<Y151-H11650760>

National Diet Library

Subject HeadingアモルフアスCN膜マイクロ波プラズマCVD ECRプラズマCVD CNラジカル高分解能発光スペ...

平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

Paper図書

永津, 雅章, 名古屋大学1999-2000<Y151-H11480106>

National Diet Library

Subject Heading表面波プラズママイクロ波プラズマプラズマCVD アモルフアスカーボン膜ダイヤモンド薄膜 ...

シリコン網目構造(アモルフアスから単結晶まで)制御のための化学反応解析

Paper図書

清水, 勇, 東京工業大学1990-1993<Y151-H02402021>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ波プラズマ自動エリプソメトリーその場観察 layer-by lay...

CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシヤル成長における大面積化

Paper図書

光田, 好孝, 東京大学1997-1998<Y151-H09650781>

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Subject Headingダイヤモンド薄膜 CVD エピタキシヤル成長高配向成長バイアス印加前処理マイクロ波プラズマ大面積堆積

新規な流動層反応装置を利用したシリコン系粉体製造プロセスの開発

Paper図書

小島, 紀徳, 成蹊大学1991-1993<Y151-H03555174>

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Subject Heading流動層 CVD 粒子コーテイング直流プラズママイクロ波プラズマ炭化珪素

マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成

Paper図書

甲斐, 綾子, 山口大学1995-1996<Y151-H07805032>

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Subject Heading窒化ガリウムマイクロ波プラズマCVD法窒素プラズマ結晶成長フオトルミネツセンス自由...

ナノクリスタルドープ光導波路及び次世代フオトニツクデバイスへの適用

Paper図書

加藤, 勇, 早稲田大学1997-2000<Y151-H09305021>

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Subject Headingマイクロ波プラズマCVD シリコンナノクリスタル多層膜発光材料光導波路形...

表面構造を化学的に制御した基板を用いるダイヤモンドヘテロエピタキシーの実現

Paper図書

諸岡, 成治, 九州大学1993-1994<Y151-H05453104>

National Diet Library

Subject Headingダイヤモンドヘテロエピタキシー薄膜マイクロ波プラズマ核発生成長単結晶膜シリコン

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