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窒化アルミインジウムガリウム砒素の五元混晶成長と光電子集積回路実現への基礎検討

Paper図書

淀, 徳男, 大阪工業大学2001-2002<Y151-H13650358>

National Diet Library

Subject HeadingSi基板窒化物混晶 InN ECRプラズマ PL発光六方晶立方晶

ECRプラズマMOCVD法によるチタニア基ナノコンポジット膜の低温合成

Paper図書

増本博, 東北大学 [著][増本博]2004-2006<Y151-H16360321>

National Diet Library

Subject HeadingECRプラズマ / MOCVD法 / チタニア膜 / ナノコンポジット /...

窒化アルミインジウムガリウム砒素の五元混晶成長と光電子集積回路実現への基礎的検討

Paper図書

淀徳男, 大阪工業大学 [著][淀徳男]2003-2004<Y151-H15560284>

National Diet Library

Subject HeadingSi基板 / InN / ECRプラズマ / 六方晶 / バンドギャップ / 酸素不純物 / 窒化物...

ECRプラズマCVDによる金属錯体からの光・電気機能性フツ化物非晶質薄膜の開発

Paper図書

河本, 洋二, 神戸大学1997-1999<Y151-H09555191>

National Diet Library

Subject HeadingECRプラズマCVD 金属錯体フツ化物非晶質薄膜光機能電気機能

高清浄ECRプラズマCVDによる高機能性ナノクリスタルGe膜の作製

Paper図書

青木, 彪, 東京工芸大学2000-2002<Y151-H12650325>

National Diet Library

Subject Headingナノクリスタルアモルフアス微結晶ゲルマニウムフオトルミネツセンスエピタキシヤル CVD ECRプラズマ

ミラー磁界型同軸ECRプラズマによる細管内壁コーテイング法に関する研究

Paper図書

藤山, 寛, 長崎大学1998-1999<Y151-H10558066>

National Diet Library

Subject HeadingECRプラズマミラー磁界スパツタリング細管コーテイングインナーコー...

窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究

Paper図書

橋詰, 保, 北海道大学1999-2001<Y151-H11650309>

National Diet Library

Subject HeadingGaN 表面制御界面制御 MIS接合フエルミ準位ピンニング表面処理自然酸化膜 ECRプラズマ

水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価

Paper図書

丸山, 一典, 長岡技術科学大学1998-1999<Y151-H10650689>

National Diet Library

Subject HeadingECRプラズマCVD 硬質炭素膜熱腐蝕 RFバイアスマススペクトルガ...

高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究

Paper図書

中島, 寛, 九州大学1997-1998<Y151-H09650363>

National Diet Library

Subject Headingシリコン極薄絶縁膜 ECRプラズマ低温薄膜形成電気的機能性スパツタリング

ゾル・ゲルーフツ化法によるフツ化物ガラス薄膜型光導波路の開発

Paper図書

河本, 洋二, 神戸大学1995-1996<Y151-H07555196>

National Diet Library

Subject Headingフツ化物ガラス薄膜光導波路ゾル・ゲルフツ化 ECRプラズマCVD 光機能

炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性

Paper図書

後藤孝, 東北大学 [著][後藤孝]2002-2004<Y151-H14350346>

National Diet Library

Subject Heading炭化ケイ素 / 電子サイクロトロン共鳴 / ECRプラズマ酸化 / シリコンナノ粒子 / 酸素分圧 / フォトルミネッ...

ECRプラズマによる窒化ガリウム砒素の結晶成長と光電子集積回路実現への基礎的検討

Paper図書

淀, 徳男, 大阪工業大学1997-1998<Y151-H09650372>

National Diet Library

Subject HeadingOEIC GaAs on Si 格子不整合界面電荷整合性エピタキシヤル成長 GaAs1-xNx ECRプラズマ窒化物

閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立

Paper図書

伊藤, 治彦, 長岡技術科学大学1999-2001<Y151-H11650760>

National Diet Library

Subject HeadingアモルフアスCN膜マイクロ波プラズマCVD ECRプラズマCVD CNラジカル高分解能発光スペクトルプラズマ診断 ...

高均一大口径ECRプラズマリアクターの開発研究

Paper図書

八坂, 保能, 京都大学1992-1993<Y151-H04555004>

National Diet Library

Subject Headingプラズマプロセス ECRプラズマ大口径マイクロ波マルチカスプ磁場

新超硬材料アモルフアス窒化炭素膜を皮膜した磁気記録ヘツドの開発

Paper図書

斎藤, 秀俊, 長岡技術科学大学1996-1997<Y151-H08555176>

National Diet Library

Subject Headingアモルフアス膜窒加炭素硬質膜磁気記録ヘツドパーマロイ ECRプラズマCVD オージエ電子分光法付着

電子共鳴プラズマを活用した新超硬材料窒化炭素および菱面体窒化ホウ素の合成と評価

Paper図書

大塩茂夫, 長岡技術科学大学1995-1997<Y151-H07455429>

National Diet Library

Subject Heading窒化炭素窒化ホウ素 ECRプラズマ DLC 流動性微小押し込みクリープ試験歪み速度敏感係数...

垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エツチング技術の開発

Paper図書

松浦, 孝, 東北大学1994-1996<Y151-H06555089>

National Diet Library

Subject Heading原子層エツチングシリコン自己制限型 ECRプラズマ塩素低エネルギーイオン照射ゲルマニウム極微細MOS

選択性逆転の可能なプラズマ低温プロセスに関する研究

Paper図書

松浦, 孝, 東北大学1992-1993<Y151-H04805029>

National Diet Library

Subject HeadingECRプラズマ選択性プラズマCVD エツチングエピタキシ吸着・反応...

プラズマを用いた窒化ガリウムインジウム砒素の成長と光電子集積回路実現への基礎検討

Paper図書

淀, 徳男, 大阪工業大学1999-2000<Y151-H11650336>

National Diet Library

Subject Heading光電子集積回路シリコン基板上窒化ガリウムシリコン基板表面 ECRプラズマプラズマダメージエピタキシヤル成長立方晶窒化ガリウム ...

新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置

Paper図書

河合, 良信, 九州大学1995-1996<Y151-H07558180>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ波大口径プラズマ ECRプラズママルチスロツトアンテナシランガス反応性ガスアモルフア...