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検索結果 31 件

マイクロ波プラズマCVDによるホウ素ドープダイヤモンドの合成と加工に関する研究

マイクロ波プラズマCVDによるホウ素ドープダイヤモンドの合成と加工に関する研究
デジタル博士論文障害者向け資料あり
佐久間, 友也2019-03-22
国立国会図書館
  • 件名ホウ素ドープダイヤモンド マイクロ波プラズマCVD 界面設計 Boron-doped diamond m...

マイクロ波水蒸気プラズマを利用した車載型ガソリン改質装置の開発

マイクロ波水蒸気プラズマを利用した車載型ガソリン改質装置の開発
紙図書
関口秀俊, 東京工業大学 [著][関口秀俊]2001-2003<Y151-H13558054>
国立国会図書館
  • 件名マイクロ波プラズマ / 水蒸気 / 改質 / 水素 / ヘキサン / システム...

マイクロ波プラズマを用いる低温滅菌技術の開発とその医療応用への展開

マイクロ波プラズマを用いる低温滅菌技術の開発とその医療応用への展開
紙図書
永津雅章, 静岡大学 [著][永津雅章]2004-2006<Y151-H16340180>
国立国会図書館
  • 件名プラズマ滅菌 / 表面波プラズマ / 体積波プラズマ / 酸素ラジカル / マイクロ波プラズマ / 低温滅菌 / 紫外線 / 医療応用

微細スケルトン構造白金/CVDダイヤモンド積層薄膜への水素の注入とその拡散

微細スケルトン構造白金/CVDダイヤモンド積層薄膜への水素の注入とその拡散
紙図書
伊藤利道, 大阪大学 [著][伊藤利道]2001-2003<Y151-H13450128>
国立国会図書館
  • 件名白金薄膜 / ダイヤモンド薄膜 / CVD / 埋込み構造 / ナノ構造 / マイクロ波プラズマ / 自己組織化 / 水素

MWCVDを使って各種金属基板に創製したダイヤモンド薄膜の機械的性質の評価

MWCVDを使って各種金属基板に創製したダイヤモンド薄膜の機械的性質の評価
紙図書
村上理一, 徳島大学1997-1998<Y151-H09650106>
国立国会図書館
  • 件名ダイヤモンド薄膜 マイクロ波プラズマ CVD 機械的性質 密着強度

段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術

段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術
紙図書
大見, 忠弘, 東北大学2000-2001<Y151-H12355014>
国立国会図書館
  • 件名LSI RLSA シヤワープレート クラスターツール 段階投資 半導体生産 マイクロ波プラズマ エツチング

ダイヤモンド膜の二段階CVD成長法による切削工具の高信頼化

ダイヤモンド膜の二段階CVD成長法による切削工具の高信頼化
紙図書
光田, 好孝, 東京大学1998-2000<Y151-H10555243>
国立国会図書館
  • 件名ダイヤモンド CVD 切削工具 二段階成長 マイクロ波プラズマ 高信頼性 超硬基盤材料 密着性

不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究

不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究
紙図書
平山, 昌樹, 東北大学2000-2001<Y151-H12838001>
国立国会図書館
  • 件名強誘電体 ゲート絶縁膜 LSI シリコン窒化膜 マイクロ波プラズマ 有機金属ガス パリア膜 酸素ラジカル

気相製膜法によるダイヤモンド被覆マイクロドリルの開発

気相製膜法によるダイヤモンド被覆マイクロドリルの開発
紙図書
諸岡, 成治, 九州大学1997-1998<Y151-H09450288>
国立国会図書館
  • 件名ダイヤモンド マイクロドリル CVD マイクロ波プラズマ 結晶析出 コーテイング

人工合成ダイヤモンドを用いたEQCMによるヒューマンセンシング技術

人工合成ダイヤモンドを用いたEQCMによるヒューマンセンシング技術
紙図書
吉原佐知雄, 宇都宮大学 [著][吉原佐知雄]2004-2005<Y151-H16310067>
国立国会図書館
  • 件名ホウ素ドープダイヤモンド / 電気化学QCM / DNA / マイクロ波プラズマCVD / リフロー / アミノ改質 / カルボキシル / ...

高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用

高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用
紙図書
永津雅章, 静岡大学 [著][永津雅章]2002-2003<Y151-H14580516>
国立国会図書館
  • 件名マイクロ波プラズマ / 大面積プラズマCVD / カーボン系薄膜 / ダイヤモ...

知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究

知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究
紙図書
大見, 忠弘, 東北大学1998-1999<Y151-H10044114>
国立国会図書館
  • 件名マイクロ波プラズマ 平行平板プラズマ コンタミネーシヨンフリー 半導体 プロセ...

閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立

閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立
紙図書
伊藤, 治彦, 長岡技術科学大学1999-2001<Y151-H11650760>
国立国会図書館
  • 件名アモルフアスCN膜 マイクロ波プラズマCVD ECRプラズマCVD CNラジカル 高分解能発光スペ...

平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究
紙図書
永津, 雅章, 名古屋大学1999-2000<Y151-H11480106>
国立国会図書館
  • 件名表面波プラズマ マイクロ波プラズマ プラズマCVD アモルフアスカーボン膜 ダイヤモンド薄膜 ...

シリコン網目構造(アモルフアスから単結晶まで)制御のための化学反応解析

シリコン網目構造(アモルフアスから単結晶まで)制御のための化学反応解析
紙図書
清水, 勇, 東京工業大学1990-1993<Y151-H02402021>
国立国会図書館
  • 件名マイクロ波プラズマ 自動エリプソメトリー その場観察 layer-by lay...

CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシヤル成長における大面積化

CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシヤル成長における大面積化
紙図書
光田, 好孝, 東京大学1997-1998<Y151-H09650781>
国立国会図書館
  • 件名ダイヤモンド薄膜 CVD エピタキシヤル成長 高配向成長 バイアス印加前処理 マイクロ波プラズマ 大面積堆積

新規な流動層反応装置を利用したシリコン系粉体製造プロセスの開発

新規な流動層反応装置を利用したシリコン系粉体製造プロセスの開発
紙図書
小島, 紀徳, 成蹊大学1991-1993<Y151-H03555174>
国立国会図書館
  • 件名流動層 CVD 粒子コーテイング 直流プラズマ マイクロ波プラズマ 炭化珪素

マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成

マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成
紙図書
甲斐, 綾子, 山口大学1995-1996<Y151-H07805032>
国立国会図書館
  • 件名窒化ガリウム マイクロ波プラズマCVD法 窒素プラズマ 結晶成長 フオトルミネツセンス 自由...

ナノクリスタルドープ光導波路及び次世代フオトニツクデバイスへの適用

ナノクリスタルドープ光導波路及び次世代フオトニツクデバイスへの適用
紙図書
加藤, 勇, 早稲田大学1997-2000<Y151-H09305021>
国立国会図書館
  • 件名マイクロ波プラズマCVD シリコンナノクリスタル 多層膜 発光材料 光導波路形...

表面構造を化学的に制御した基板を用いるダイヤモンドヘテロエピタキシーの実現

表面構造を化学的に制御した基板を用いるダイヤモンドヘテロエピタキシーの実現
紙図書
諸岡, 成治, 九州大学1993-1994<Y151-H05453104>
国立国会図書館
  • 件名ダイヤモンド ヘテロエピタキシー 薄膜 マイクロ波プラズマ 核発生 成長 単結晶膜 シリコン
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