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EUVリソグラフィ技術 : レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状
EUVリソグラフィ技術 : レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状
紙
図書
渡邊健夫 監修
AndTech
2023.5
<ND386-M92>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
フォトレジストの最先端技術 (エレクトロニクスシリーズ)
フォトレジストの最先端技術 (エレクトロニクスシリーズ)
紙
図書
遠藤政孝 監修
シーエムシー出版
2022.9
<PA441-M131>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576718
00576369
レジスト材料の基礎とプロセス最適化
レジスト材料の基礎とプロセス最適化
紙
図書
河合晃 著
シーエムシー・リサーチ
2021.11
<YU7-R25>
国立国会図書館
件名(識別子)
00576718
00576369
ノボラックレジスト : 材料とプロセスの最適化
ノボラックレジスト : 材料とプロセスの最適化
紙
図書
S&T出版
2020.1
<PA441-M40>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576718
00576369
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術
紙
図書
岡崎信次 監修
エヌ・ティー・エス
2017.4
<ND386-L119>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術 (エレクトロニクスシリーズ)
最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術 (エレクトロニクスシリーズ)
紙
図書
河合晃 監修
シーエムシー出版
2017.9
<PA441-L152>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576718
00576369
レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
紙
図書
河合晃 著
R&D支援センター
2018.3
<PA441-L160>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576718
00576369
リソグラフィ技術その40年
リソグラフィ技術その40年
紙
図書
S&T出版
2016.12
<ND386-L115>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
フォトレジスト材料開発の新展開 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
フォトレジスト材料開発の新展開 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
紙
図書
上田充 監修
シーエムシー出版
2015.11
<PA441-L99>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576718
00576369
EUV光源の開発と応用 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
EUV光源の開発と応用 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
紙
図書
豊田浩一, 岡崎信次 監修
シーエムシー出版
2013.3
<ND386-L12>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
フォトレジスト材料の評価 : ノボラックレジストから最新EUVレジストまで
フォトレジスト材料の評価 : ノボラックレジストから最新EUVレジストまで
紙
図書
関口淳 著
サイエンス&テクノロジー
2012.3
<PA441-J186>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576718
00576369
はじめての半導体リソグラフィ技術 : 現場の即戦力
はじめての半導体リソグラフィ技術 : 現場の即戦力
紙
図書
岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧 著
技術評論社
2012.1
<ND386-J152>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
液浸リソグラフィのプロセスと材料 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
液浸リソグラフィのプロセスと材料 普及版 (エレクトロニクスシリーズ)
紙
図書
東木達彦 監修
シーエムシー出版
2012.8
<ND386-J178>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
レジスト&リソグラフィ関連市場の全貌 2011 (光機能材料・製品市場の全貌シリーズ ; no. 2)
レジスト&リソグラフィ関連市場の全貌 2011 (光機能材料・製品市場の全貌シリーズ ; no. 2)
紙
図書
東京マーケティング本部ケミカル&マテリアルグループ 調査・編集
富士経済
2011.3
<DL475-J442>
国立国会図書館
件名(識別子)
00576369
図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 (How-nual visual guide book)
図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 (How-nual visual guide book)
紙
図書
佐藤淳一 著
秀和システム
2011.10
<ND386-J149>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
レジストプロセスの最適化テクニック : 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術
レジストプロセスの最適化テクニック : 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術
紙
図書
情報機構
2011.9
<ND386-J148>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
フォトレジスト材料開発の新展開 ([エレクトロニクスシリーズ])
フォトレジスト材料開発の新展開 ([エレクトロニクスシリーズ])
紙
図書
上田充 監修
シーエムシー出版
2009.8
<PA441-J81>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576718
00576369
微細転写・加工技術全集
微細転写・加工技術全集
紙
図書
片岡大 企画編集
技術情報協会
2008.8
<ND371-J40>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
01086440 00561376
00576369
フィールドガイドオプティカルリソグラフィー (SPIEフィールドガイド)
フィールドガイドオプティカルリソグラフィー (SPIEフィールドガイド)
紙
図書
Chris A.Mack 原著, 木下博雄 訳
オプトロニクス社
2008.9
<ND386-J47>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
電子線リソグラフィ教本
電子線リソグラフィ教本
紙
図書
横山浩 監修, 秋永広幸 編
オーム社
2007.6
<ND386-H209>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576369
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