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高耐圧・高出力GaN HEMTの作製・評価

Paper図書

水谷孝, 名古屋大学 [著][水谷孝]2003-2005<Y151-H15206040>

National Diet Library

Subject HeadingGaN HEMT / GaN MISHEM / 電流コラプス / 高誘電率膜 / KFM / 電位測定

高誘電率絶縁薄膜中の欠陥の研究

Paper図書

廣瀬和之, 宇宙航空研究開発機構 [著][廣瀬和之]2003-2005<Y151-H15560025>

National Diet Library

Subject HeadingLSI / MOSFET / ゲート絶縁膜 / SiO_2 / 高誘電率 / HfO_2 / 欠陥 / 光電子分光

高誘電率絶縁薄膜の応力に起因する高圧相への構造相転移の研究

Paper図書

秋本晃一, 名古屋大学 [著][秋本晃一]2004-2006<Y151-H16340088>

National Diet Library

Subject Headingシンクロトロン放射光 / 高誘電率絶縁膜 / X線 / 結晶構造 / 構造相転移 / 光電子分...

次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

Paper図書

徳光, 永輔, 東北大学2000-2002<Y151-H12450121>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率材料ゲ-ト絶縁膜 MOSFET ゾルゲル法分子線蒸着法 ...

制限反応スパツタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究

Paper図書

佐々木, 公洋, 金沢大学2001-2002<Y151-H13650338>

National Diet Library

Subject Heading制限反応スパツタ ZrO_2 高誘電率金属モ-ドスパツタゲ-ト絶縁膜

省電力LSI用高誘電率ゲート絶縁膜の薄膜スケーリング手法の構築

Paper図書

中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2006-2007<Y151-H18360152>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率絶縁膜 / シリコン / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ /...

高誘電体/シリコン界面形成の原子スケール制御による高品質界面の実現

Paper図書

野平博司, 武蔵工業大学 [著][野平博司]2004-2005<Y151-H16560026>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 /...

超薄高誘電率ゲート絶縁膜におけるシリコンとの界面制御の研究

Paper図書

鳥海明, 東京大学 [著][鳥海明]2001-2005<Y151-H13852009>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率絶縁膜 / High-k膜 / HfO_2 / Y-dope...

省電力LSI用高誘電率ゲート絶縁膜の自己整合プロセス開発

Paper図書

中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2004-2005<Y151-H16360156>

National Diet Library

Subject Headingシリコン / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 酸化膜 / ...

酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善

Paper図書

山部紀久夫, 筑波大学 [著][山部紀久夫]2004-2005<Y151-H16360016>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率絶縁膜 / 集積回路 / ゲート絶縁膜 / 伝導機構 / 電...

ミリ波帯移動体通信用高誘電率円板共振器の最適設計に関する基礎的研究

Paper図書

苫米地, 義郎, 宇都宮大学1997-1998<Y151-H09650394>

National Diet Library

Subject Headingミリ波帯移動体通信高誘電率円板共振器ウイスパリングギヤラリーモード共振特性高誘電率方形誘電体導波路分布結合現象

タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価

Paper図書

佐々木, 克孝, 北見工業大学2001-2002<Y151-H13650329>

National Diet Library

Subject Heading陽極酸化膜キヤパシタ Ta-Zr合金膜高誘電率化耐熱性低損失特性漏れ電流特性 Schottky伝導

リラクサー強誘電体の光バルブ作用・誘電率制御と光メカトロニクス素子への展開

Paper図書

安田直彦, 岐阜大学 [著][安田直彦]2004-2006<Y151-H16360150>

National Diet Library

Subject Heading電気光学特性 / リラクサ強誘電体固溶体単結晶 / 圧電性 / 高誘電率 / 光バルブ / PMN-PT / 多機能 / エンジニア...

角度分解X線光電子分光法による高誘電体薄膜/シリコン界面構造の深さ方向分析

Paper図書

野平博司, 武蔵工業大学 [著][野平博司]2002-2003<Y151-H14550029>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 /...

次世代LSI用高誘電率ゲート絶縁膜の低温形成と機能評価

Paper図書

中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2001-2003<Y151-H13450130>

National Diet Library

Subject Headingシリコン / 電子サイクロトロンプラズマ / スパッタリング / 高誘電率絶縁膜 / 酸化膜 / 窒化膜 / 積層構造

高エネルギー光電子分光法開発と高誘電率膜/シリコン界面の化学結合状態分析への応用

Paper図書

服部健雄, 武蔵工業大学 [著][服部健雄]2003-2005<Y151-H15206006>

National Diet Library

Subject Heading放射光 / 光電子分光法 / 角度分解光電子分光法 / 電子帯構造 / ゲート絶縁膜 / 高誘電率膜 / 希土類金属酸化膜 / 最大エントロピー法

次世代極薄高誘電率ゲート絶縁膜中の不純物の挙動に関する理論的研究

Paper図書

白石賢二, 筑波大学 [著][白石賢二]2004-2005<Y151-H16560020>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率絶縁膜 / シリコンナノ構造 / 格子欠陥 / 第一原理計算...

サブ10ナノメータ級新構造Si MOSFET/SOIの研究

Paper図書

酒井徹志, 東京工業大学 [著][酒井徹志]2001-2002<Y151-H13450138>

National Diet Library

Subject Headingサブ10ナノメータ / MOSFET/SOI / 短チャネル効果 / 駆動電流 / 高誘電率ゲート絶縁膜 / SiGe / ECRスパッタ

メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長

Paper図書

中島安理, 広島大学 [著][中島安理]2001-2003<Y151-H13450129>

National Diet Library

Subject Headingメタルゲート / 高誘電率金属酸化物 / ゲート絶縁膜 / スタック構造 / 原子層成...

超微細シリコンLSIに用いられる高誘電率薄膜中の欠陥の構造と生成機構の解明

Paper図書

大木義路, 早稲田大学 [著][大木義路]2004-2006<Y151-H16360160>

National Diet Library

Subject Headingゲート絶縁膜 / 高誘電率材料 / ハフニウムシリケート / ジルコニウムシリケート ...

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