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- Subject Headingホットワイヤー / 表面窒化 / アンモニア分解種 / シリコン窒化膜 / ヘキサメチルジシラザン / シリコン炭窒化膜
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- Subject Heading光導波路 / Si細線光導波路 / 光伝搬解析 / Siの選択酸化 / シリコン窒化膜
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- Subject Heading結晶シリコン太陽電池 / シリコン窒化膜 / アモルファスシリコン薄膜 / パッシベーション
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- Subject Heading電界効果トランジスタ / 絶縁ゲート / 気体絶縁 / 耐放射線 / 高耐圧 / シリコン窒化膜 / 熱リン酸
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- Subject Headingゲート酸窒化膜 窒素分布 高分解能 ラザフオード後方散乱法 SIMS AE...
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- Subject Headingシリコン / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 酸化膜 / 窒化膜 / 省電力LSI / Hf酸化膜
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- Subject Headingシリコン / 電子サイクロトロンプラズマ / スパッタリング / 高誘電率絶縁膜 / 酸化膜 / 窒化膜 / 積層構造
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- Subject Heading強誘電体 ゲート絶縁膜 LSI シリコン窒化膜 マイクロ波プラズマ 有機金属ガス パリア膜 酸素ラジカル
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- Subject Headingシリコンテクノロジー 一酸化二窒素ガス 急速熱処理 極薄シリコン酸窒化膜 デバイスプロセス
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- Subject Headingタングステン窒化膜 薄膜 表面解析 成長パラメータ フラクタル解析
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- Subject Headingシリカ シリコン熱酸化膜 フオトルミネセンス 点欠陥 シリコン埋め込み酸化膜 フツ素添加SiO2 シリコン窒化膜
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- Subject Headingメスバウアー分光 磁性薄膜 スパツタ成膜 磁気光学効果 偏光ガンマ線 フアラデー効果 鉄・窒化膜 ペロブスカイト型鉄酸化物
Digital博士論文障害者向け資料あり
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- Subject Heading...r 不揮発性メモリ シリコン炭窒化膜 電荷重心 電荷保持特性 電荷捕獲中心
- Alternative Title不揮発性半導体メモリへの応用のためのシリコン炭窒化膜の電荷捕獲現象に関する研究 フキハツセイ ハンドウタイ メモ...
- Alternative Title不揮発性半導体メモリへの応用のためのシリコン炭窒化膜の電荷捕獲現象に関する研究 フキハツセイ ハンドウタイ メモ...
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- Subject Heading非接触・C-V 超高真空一貫システム 表面・界面準位 表面プロセス フエルミ準位ピンニング 水素終端シリコン表面 極博絶縁膜 ECRプラズマ 酸窒化膜
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- Subject Headingシリコン窒化膜 シリコン酸化膜 プラズマCVD 結合構造 電荷移動モデル ...
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- Subject HeadingMIS 化合物半導体表面 窒化膜 光化学反応 シヨツトキー接触
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- Subject HeadingプラズマCVD 低周波 デポジシヨン シリコン窒化膜 室温プロセス 絶縁薄膜 表面保護膜
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- Subject Headingスパツタリング膜 反応性スパツタリング 鉄窒化膜 構造安定相 高堆積速度 磁性薄膜 磁気記録媒体 微細構造
Digital文書・図像類
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- Subject Heading...解析 Siの選択酸化 シリコン窒化膜 伝搬損失 Optical waveguide Si pho...
- Note (General)...部に選択酸化用マスク(シリコン窒化膜を利用)を形成して酸化を行う。......失の低減が期待できる。シリコン窒化膜厚40nm、1100℃、7時間......ット酸化条件において、シリコン窒化膜は酸化されてSiO_2に変換さ......導波路の作製を行った。シリコン窒化膜のエッチングについて検討した結......観察により、酸化によりシリコン窒化膜下部のSiは酸化されず、シリコン窒化膜がない部分のSiが酸化されてSiコアが形成されることを確認し...