検索結果 22 件
紙図書
国立国会図書館
- 件名ホットワイヤー / 表面窒化 / アンモニア分解種 / シリコン窒化膜 / ヘキサメチルジシラザン / シリコン炭窒化膜
紙図書
国立国会図書館
- 件名シリコン / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 酸化膜 / 窒化膜 / 省電力LSI / Hf酸化膜
紙図書
国立国会図書館
- 件名シリカ シリコン熱酸化膜 フオトルミネセンス 点欠陥 シリコン埋め込み酸化膜 フツ素添加SiO2 シリコン窒化膜
デジタル博士論文障害者向け資料あり
国立国会図書館
- 件名...r 不揮発性メモリ シリコン炭窒化膜 電荷重心 電荷保持特性 電荷捕獲中心
- 並列タイトル等(連結)不揮発性半導体メモリへの応用のためのシリコン炭窒化膜の電荷捕獲現象に関する研究 フキハツセイ ハンドウタイ メモ...
- 並列タイトル等不揮発性半導体メモリへの応用のためのシリコン炭窒化膜の電荷捕獲現象に関する研究 フキハツセイ ハンドウタイ メモ...
紙図書
国立国会図書館
- 件名非接触・C-V 超高真空一貫システム 表面・界面準位 表面プロセス フエルミ準位ピンニング 水素終端シリコン表面 極博絶縁膜 ECRプラズマ 酸窒化膜
デジタル文書・図像類
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- 件名...解析 Siの選択酸化 シリコン窒化膜 伝搬損失 Optical waveguide Si pho...
- 一般注記...部に選択酸化用マスク(シリコン窒化膜を利用)を形成して酸化を行う。......失の低減が期待できる。シリコン窒化膜厚40nm、1100℃、7時間......ット酸化条件において、シリコン窒化膜は酸化されてSiO_2に変換さ......導波路の作製を行った。シリコン窒化膜のエッチングについて検討した結......観察により、酸化によりシリコン窒化膜下部のSiは酸化されず、シリコン窒化膜がない部分のSiが酸化されてSiコアが形成されることを確認し...