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極薄シリコン酸化膜スペーサを用いたナノギャップ構造トンネル分光デバイスの研究

Paper図書

森田瑞穂, 大阪大学 [著][森田瑞穂]2002-2005<Y151-H14350166>

National Diet Library

Subject Headingナノギャップ / 電子応答 / シリコン酸化膜

レ-ザ-デトネ-シヨン誘起ブロ-ドアトムビ-ムによる低損傷低温極表面改質法の開発

Paper図書

大前, 伸夫, 神戸大学2000-2002<Y151-H12555200>

National Diet Library

Subject Heading原子状酸素シリコン表面改質シリコン酸化膜原子ビ-ム

電気的解析手法と構造的解析手法の融合によるシリコン酸化膜の破壊機構に関する研究

Paper図書

舛岡, 富士雄, 東北大学1998-1999<Y151-H10305023>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化膜フラツシユメモリ構造解析

酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善

Paper図書

山部紀久夫, 筑波大学 [著][山部紀久夫]2004-2005<Y151-H16360016>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率絶縁膜 / 集積回路 / ゲート絶縁膜 / 伝導機構 / 電荷捕獲 / 信頼性 / シリコン酸化膜 / 酸素欠損

縦型共鳴トンネル構造の共鳴/非共鳴条件による動作機能可変SOI量子デバイスの研究

Paper図書

森田, 瑞穂, 大阪大学1998-2000<Y151-H10450123>

National Diet Library

Subject Heading半導体デバイス半導体プロセスシリコンシリコン酸化膜シリコン・オン・インシユレータ

ステツプ配列制御による完全ステツプフリーシリコン/酸化膜界面の形成と評価

Paper図書

須藤, 孝一, 大阪大学2000-2001<Y151-H12650029>

National Diet Library

Subject Headingシリコンシリコン酸化膜界面ラフネスステツプ自己組織化走査トンネル顕微鏡表...

極薄シリコン酸化膜/シリコン界面のキヤリア捕獲準位と微視的構造との関係の解明

Paper図書

服部, 健雄, 武蔵工業大学1998-2000<Y151-H10450020>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化膜 Si-SiO2 界面構造弾性散乱非弾性散乱光電子回折...

フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用

Paper図書

中村, 圭二, 中部大学1998-2000<Y151-H10680457>

National Diet Library

Subject Headingプラズマプロセスエツチングシリコン酸化膜プラズマ・壁相互作用 RFバイアスイオン衝撃壁制御ラ...

シリコン酸化膜/シリコン界面形成の原子スケール制御による超平坦界面の実現

Paper図書

服部, 健雄, 武蔵工業大学1996-1998<Y151-H08455023>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化膜 Si-SiO2 界面構造原子スケール酸化膜の層状成長 ...

高感度チャージポンピング・スピン共鳴法の開発と電子対再結合のスピン制御

Digital文書・図像類

小野, 行徳静岡大学2017-06-07

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Subject Headingチャージポンピング電子スピン共鳴シリコン酸化膜界面

酸素負イオンプラズマによるシリコンの低温高速酸化に関する研究

Paper図書

進藤, 春雄, 東海大学1999-2000<Y151-H11680490>

National Diet Library

Subject Headingシリコン酸化膜酸素負イオン酸化素子分離用酸化膜高速シリコン酸化低損...

極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビツトメモリ配線への応用

Paper図書

広瀬, 全孝, 広島大学1992-1994<Y151-H04555071>

National Diet Library

Subject HeadingプラズマCVD シリコン酸化膜全反射赤外吸収分光その場観察平坦化技術選択成長法

電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析

Paper図書

長谷川, 誠一, 金沢大学1993-1994<Y151-H05650009>

National Diet Library

Subject Headingシリコン窒化膜シリコン酸化膜プラズマCVD 結合構造電荷移動モデルランダム結合モデ...

低周波プラズマCVD(TEOS+O2)によるシリコン酸化膜の低温形成プロセス開発

Paper図書

伊達, 広行, 北海道大学1992-1993<Y151-H04555018>

National Diet Library

Subject HeadingプラズマCVD シリコン酸化膜低周波プラズマ TEOS 薄膜生成低温プロセス集積回路...

ゲルマニウム添加シリカガラスにおける欠陥の構造とその光非線形性発現に果たす役割

Paper図書

大木, 義路, 早稲田大学1994-1995<Y151-H06452222>

National Diet Library

Subject Headingゲルマニウム添加シリカガラスシリカ光誘起欠陥エキシマレーザ光誘起屈折率変化光フアイバグレーテイングシリコン酸化膜

超軟X線励起光電子分光法の高性能化に関する研究

Paper図書

服部, 健雄, 武蔵工業大学1988-1990<Y151-S63850009>

National Diet Library

Subject Heading光電子分光法 XPS 軟X線励起光電子分光法 ZrMζ線回転ターゲツトシリコン酸化膜@シリコン界面自然酸化膜熱酸化膜

その場観察用X線光電子分光分析器の開発とシリコン酸化・窒化極薄膜の形成機構の解明

Paper図書

服部, 健雄, 武蔵工業大学1989-1991<Y151-H01065003>

National Diet Library

Subject HeadingX線光電子分光法角度分解X線光電子分光法赤外全反射吸収測定法シリコン表面の清浄化シリコン自然酸化膜シリコンの初期酸化シリコン酸化膜/シリコン界面シリコン水素結合

MOS型IC材料の化学反応と拡散に関する研究

Paper図書

後藤, 和弘, 東京工業大学1986-1987<Y151-S61470055>

National Diet Library

Subject HeadingMOSIC シリコンシリコン酸化膜熱酸化スパツタリング拡散化学反応蒸発蒸着屈折率...

電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析

Digital文書・図像類

長谷川, 誠一, Hasegawa, Seiichi1996-04-14平成6(1994)年度科学研究費補助金一般研究(C) 研究成果報告書概要 = 1994 Fiscal Year Final Research Report Summary1993 – 1994p.2p.-

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Subject Headingシリコン窒化膜シリコン酸化膜プラズマCVD 結合構造電荷移動モデルランダム結合モデ...

単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

Digital文書・図像類

近藤, 博基, 安田, 幸夫, 財満, 鎭明, 酒井, 朗, 池田, 浩也2005-04

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Summary, etc....鏡(C-AFM)を用いて、極薄シリコン酸化膜(SiO_2膜)ならびにゲートSiO_2膜の劣化現象を原子ス...
Subject Heading...ク電流ストレス誘起欠陥極薄シリコン酸化膜絶縁破壊走査トンネル分光走査プローブ顕微鏡走査型トン...

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