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- Subject Heading反応性スパッタリング / 水和酸化物 / 水酸化物 / 固体電解質薄膜 / 電気...
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- Subject Heading固体電解質 酸素格子欠陥 メンブレンリアクタ- 格子酸素 炭化水素部分参加 反応性スパツタリング
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- Subject Heading2D-3D型高温超伝導トランジスタ 反応性スパツタリング Pt/YBCO/Pt
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- Subject Headingプラズマ / エッチング / 反応性スパッタリング / 紫外線照射 / 分子動力学シミュレーション / モンテ...
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- Subject Heading反応性スパッタリング / 窒化物半導体 / InN / GaN / 光学的性質 ...
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- Subject Heading窒化チタン 反応性スパツタリング プロセス制御 分光分析 二源スパツタリング
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- Subject Heading窒化物薄膜 高周波反応性スパツタリング ピンホール欠陥 分極曲線
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- Subject Heading反応性スパツタリング 酸化物薄膜 MgO 金属モード 酸化物モード ヒステリシス...
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- Subject Heading窒化物半導体 反応性スパツタリング 非晶質半導体 分光エリプソメータ 誘電率 光学的性質 バン...
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- Subject Heading反応性スパツタリング 電子サイクロトロン共鳴プラズマ 原子状酸素 圧電性結晶 圧...
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- Subject Heading反応性スパツタリング 薄膜 2成分ターゲツト 非晶質 材料設計 ケイ化物 酸化物
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- Subject Heading高周波反応性スパツタリング 傾斜機能薄膜 発光分光 質量分析 オージエ電子分光法
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- Subject Headingジルコン酸チタン酸鉛 シリコン 強誘電体 イツトリア安定化ジルコニア 反応性スパツタリング ヘテロエピタキシヤル成長 強誘電体メモリ
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- Subject Heading窒化物薄膜 高周波反応性スパツタリング法 酸化挙動 窒化チタン 窒化アルミニウム
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- Subject Heading反応性スパツタリング 高周波スパツタリング マグネトロンスパツタリング 機能性コ...
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- Subject Heading超伝導 窒化ニオブ カーボンフアイバー 反応性スパツタリング
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- Subject Headingスパツタリング膜 反応性スパツタリング 鉄窒化膜 構造安定相 高堆積速度 磁性薄膜 磁気記録媒体 ...
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- Subject Heading...グ ヘテロエピタキシャル成長 反応性スパッタリング イットリア安定化ジルコニア S:Ge(シリコンゲルマニウム...
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