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- Subject Heading高誘電率絶縁膜 / 集積回路 / ゲート絶縁膜 / 伝導機構 / 電荷捕獲 / 信頼性 / シリコン酸化膜...
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- Subject Heading高誘電率絶縁膜 / シリコンナノ構造 / 格子欠陥 / 第一原理計算 / Si/SiO_2界面 / High-k絶縁膜/Si界面 / トランジスタ特性 / HfO_2
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- Subject Headingシリコン / 自己拡散 / ゲート絶縁膜 / 点欠陥 / 不純物拡散
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- Subject Heading絶縁膜 / プラズマCVD / パーフルオロカーボン / 低誘電率...
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- Subject HeadingLSI / MOSFET / ゲート絶縁膜 / SiO_2 / 高誘電率 / HfO_2 / 欠陥 /...
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- Subject Heading積層型システムLSI / 絶縁膜 / 貫通電極 / 真空紫外光 / エキシマランプ / 光C...
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- Subject Headingシンクロトロン放射光 / 高誘電率絶縁膜 / X線 / 結晶構造 / 構造相転移 / 光電子分光
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- Subject Heading真空紫外光 / エキシマランプ / 光CVD / 半導体絶縁膜 / 積層型システムLSI / System in Pack...
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- Subject HeadingHigh-k絶縁膜 / 非接触評価 / 界面トラップ / フェルミピニング /...
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- Subject Heading制限反応スパツタ ZrO_2 高誘電率 金属モ-ドスパツタ ゲ-ト絶縁膜
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- Subject Heading高誘電率材料 ゲ-ト絶縁膜 MOSFET ゾルゲル法 分子線蒸着法 HfO_2 La_...
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- Subject Headingマイクロ波励起プラズマ / シリコンカーバイト (SiC) / 絶縁膜 / MOS / 残留炭素 / 低温プロセス
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- Subject Heading低誘電率層間絶縁膜 / 配線 / ワイヤレス / インターコネクト / アンテ...
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- Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希土類酸化膜 / 深さ方向元素分布
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- Subject Heading高誘電率絶縁膜 / High-k膜 / HfO_2 / Y-doped H...
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- Subject Heading高誘電率絶縁膜 / シリコン / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 省電...
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- Subject Headingシリコン / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 酸化膜 / 窒化膜...
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- Subject Heading高誘電率材料 / 角度分解X線光電子分光法 / 絶縁膜/Si界面 / 希土類酸化膜 / 深さ方向元素分布