Search results for "ゲ-ト絶縁膜" | NDL Search

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次世代ゲート絶縁膜における不純物とシリコンの相互拡散

Paper図書

伊藤公平, 慶應義塾大学 [著][伊藤公平]2004-2006<Y151-H16360021>

National Diet Library

Subject Headingシリコン / 自己拡散 / ゲート絶縁膜 / 点欠陥 / 不純物拡散

ゲート絶縁膜中フッ素添加によるa-InGaZnO薄膜素子における高信頼性化機構の解析

Digital博士論文障害者向け資料あり

山﨑, はるか奈良先端科学技術大学院大学2016-03-24

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Subject Headingフッ素添加高信頼性化機構ゲート絶縁膜 a-InGaZnO

高誘電率絶縁薄膜中の欠陥の研究

Paper図書

廣瀬和之, 宇宙航空研究開発機構 [著][廣瀬和之]2003-2005<Y151-H15560025>

National Diet Library

Subject HeadingLSI / MOSFET / ゲート絶縁膜 / SiO_2 / 高誘電率 / HfO_2 / 欠陥 /...

液体原料シリコン系薄膜のレーザーアニールによる形成と結晶シリコン薄膜トランジスタへの応用

Digital博士論文障害者向け資料あり

菱谷, 大輔奈良先端科学技術大学院大学2017-03-24

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Subject Heading薄膜トランジスタレーザーアニール結晶化ゲート絶縁膜シクロペンタシラン

制限反応スパツタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究

Paper図書

佐々木, 公洋, 金沢大学2001-2002<Y151-H13650338>

National Diet Library

Subject Heading制限反応スパツタ ZrO_2 高誘電率金属モ-ドスパツタゲ-ト絶縁膜

次世代MOSFETゲ-ト用高誘電率材料の系統的探索と物性制御

Paper図書

徳光, 永輔, 東北大学2000-2002<Y151-H12450121>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率材料ゲ-ト絶縁膜 MOSFET ゾルゲル法分子線蒸着法 HfO_2 La_...

酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善

Paper図書

山部紀久夫, 筑波大学 [著][山部紀久夫]2004-2005<Y151-H16360016>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率絶縁膜 / 集積回路 / ゲート絶縁膜 / 伝導機構 / 電荷捕獲 / 信頼性 / シリコン酸化膜...

高エネルギー光電子分光法開発と高誘電率膜/シリコン界面の化学結合状態分析への応用

Paper図書

服部健雄, 武蔵工業大学 [著][服部健雄]2003-2005<Y151-H15206006>

National Diet Library

Subject Heading放射光 / 光電子分光法 / 角度分解光電子分光法 / 電子帯構造 / ゲート絶縁膜 / 高誘電率膜 / 希土類金属酸化膜 / 最大エントロピー...

サブ10ナノメータ級新構造Si MOSFET/SOIの研究

Paper図書

酒井徹志, 東京工業大学 [著][酒井徹志]2001-2002<Y151-H13450138>

National Diet Library

Subject Headingサブ10ナノメータ / MOSFET/SOI / 短チャネル効果 / 駆動電流 / 高誘電率ゲート絶縁膜 / SiGe / ECRスパッタ

不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究

Paper図書

平山, 昌樹, 東北大学2000-2001<Y151-H12838001>

National Diet Library

Subject Heading強誘電体ゲート絶縁膜 LSI シリコン窒化膜マイクロ波プラズマ有機金属ガス ...

強誘電体を用いた巨大電荷制御トランジスタの提案と次世代集積回路への応用

Paper図書

徳光永輔, 東京工業大学 [著][徳光永輔]2003-2005<Y151-H15360157>

National Diet Library

Subject Heading強誘電体 / 電界効果型トランジスタ (FET) / ゲート絶縁膜 / 酸化物導電体 / オン電流 / MOSFET / チタ...

メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長

Paper図書

中島安理, 広島大学 [著][中島安理]2001-2003<Y151-H13450129>

National Diet Library

Subject Headingメタルゲート / 高誘電率金属酸化物 / ゲート絶縁膜 / スタック構造 / 原子層成長 / 真空一貫 / ジルコ...

超微細シリコンLSIに用いられる高誘電率薄膜中の欠陥の構造と生成機構の解明

Paper図書

大木義路, 早稲田大学 [著][大木義路]2004-2006<Y151-H16360160>

National Diet Library

Subject Headingゲート絶縁膜 / 高誘電率材料 / ハフニウムシリケート / ジルコニウ...

金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

Paper図書

大見, 忠弘, 東北大学1993-1994<Y151-H05402039>

National Diet Library

Subject Headingメタルゲート電極高誘電率ゲート絶縁膜金属基板コンタクト抵抗銅配線 SOIMOSEFT 閾値

超臨界水を活用したGaNパワー素子の高信頼性化技術 : 平成30年度実績報告書

Digital文書・図像類

浦岡, 行治奈良先端科学技術大学院大学2019

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Subject Headingパワーデバイス窒化ガリウム超臨界水高圧水蒸気処理界面準位ゲート絶縁膜

in situ光堆積法によるInPMIS電界効果トランジスタ用ゲート絶縁膜の研究

Paper図書

菅野, 卓雄, 東京大学1989-1991<Y151-H01460135>

National Diet Library

Subject Headingインゾウムリン電界効果トランジスタ光堆積法ゲート絶縁膜応力表面再結合速度レーザラマン分光

単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

Digital文書・図像類

近藤, 博基, 安田, 幸夫, 財満, 鎭明, 酒井, 朗, 池田, 浩也2005-04

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Summary, etc....onductor)キャパシタのゲート絶縁膜において動作時に発生する局所的......は、走査プローブ顕微鏡を用いたゲート絶縁膜の性能、信頼性評価は必須のものと考えられる。
Subject Heading...rent ゲートSiO_2膜ゲート絶縁膜ストレス誘起リーク電流スト......顕微鏡電荷トラップ高誘電率ゲート絶縁膜高誘電率材料

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